[发明专利]加热的喷头组件

摘要

本发明一般而言包含加热的喷头组件，其可用来供应处理气体至处理腔室。该处理腔室可以是蚀刻腔室。当该处理气体从该处理腔室排出时，均匀处理该衬底会有难度。将该处理气体抽离该衬底并朝向该真空泵推送时，衬底上的等离子体，在蚀刻的情况下可能会不均匀。不均匀的等离子体可造成不均匀蚀刻。为了避免不均匀蚀刻，可将该喷头组件分为两个区域，每一个区域均具有可独立控制的气体导入及温度控制。该第一区域对应该衬底的边缘，而该第二区域对应该衬底的中心。通过独立控制温度及通过该喷头区域的气流，可增加该衬底的蚀刻均匀性。

主权项

1.一种喷头翻新方法，其包含：/n将第一喷头主体从第二喷头主体拆下，所述第一喷头主体具有环绕第二区域的第一区域，其中，所述第一区域具有：/n第一气室，设置在所述主体的第一侧；/n第一加热元件，所述第一加热元件包括第一多个加热线圈；/n一或多个第二气室，设置在所述主体的第二侧；以及/n多个第一孔，配置在多个第一环状图案中，所述多个第一孔从所述第一气室延伸至所述一或多个第二气室；/n多个孔口，在所述第一气室与所述第一孔之间，其中所述第一气室的直径大于所述第一孔的直径，并且所述第一孔的直径大于所述孔口的直径；并且/n所述第二区域具有：/n第三气室，设置在所述主体的第一侧；/n第二加热元件，所述第二加热元件包括第二多个加热线圈；/n一或多个第四气室，设置在所述主体的第二侧；以及/n多个第二孔，配置在多个第二环状图案中，所述多个第二孔从所述第三气室延伸至所述一或多个第四气室；/n清洁至少所述第一喷头主体；并且/n接合所述第一喷头主体至第三喷头主体。/n