[发明专利]掩膜板光罩、掩膜板光罩制作方法及掩膜板制作方法

摘要

本发明涉及一种掩膜板光罩、掩膜板光罩制作方法及掩膜板制作方法，其中，掩膜板光罩适于采用光蚀刻法在一金属基板上蚀刻形成蒸镀孔，包括透明基板金属膜片，透明基板具有第一平面及与所述第一平面相背的第二平面；金属膜片平铺于所述第一平面，且所述金属膜片上形成有多个镂空孔，所述镂空孔的尺寸与所述蒸镀孔的预定尺寸相等。根据本发明提供的掩膜板光罩，确保蚀刻形成的蒸镀孔尺寸和形状的精度更高，同时，操作简单，工艺过程更加简单，效率更高，形成的掩膜板产品的良率更高。

主权项

一种掩膜板光罩，适于采用光蚀刻法在一金属基板上蚀刻形成蒸镀孔，其特征在于，包括：透明基板，所述透明基板具有第一平面及与所述第一平面相背的第二平面；金属膜片，所述金属膜片平铺于所述第一平面，且所述金属膜片上形成有多个镂空孔，所述镂空孔的尺寸与所述蒸镀孔的预定尺寸相等。