[发明专利]一种硅压阻式压力传感器温度漂移的补偿方法在审
| 申请号： | 201610353836.9 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN106441644A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 焦祥锟;彭成庆 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;G01L9/06 |
| 代理公司： | 南京汇盛专利商标事务所(普通合伙)32238 | 代理人： | 吴静安 |
| 地址： | 210049 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅压阻式压力传感器温度漂移的补偿方法，通过对压力传感器线的零位和灵敏度的线性补偿补偿，在某一温度T℃下的温度补偿后的压力输出值UT′为有益效果：本发明有效避免了硅压阻式压力传感器由温度变化引起的误差，同时对压力传感器进行了非线性修正、零位温度补偿和灵敏度温度补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅压阻式 压力传感器 温度 漂移 补偿 方法 | ||
【主权项】：
一种硅压阻式压力传感器温度漂移的补偿方法，包括如下步骤：1)在温度区间[T1，T2]内，T1、T2均为温度值，且T1<T2，选取若干个温度点T，保持温度T不变，采集不同压力P下的压力输出值，通过线性拟合方法，计算出压力输出值的一阶线性公式，再根据式一阶线性公式通过对各温度点的零点a和灵敏度b进行二阶线性拟合，计算出各温度点的二阶拟合公式a(T)和b(T)，根据所述二阶拟合公式a(T)和b(T)得到不同温度点T对应的零点aT和灵敏度bT；2)在温度区间[T1，T2]内，设定已知选取的拟合温度点T，通过判断该温度点T所在的拟合温度区间[T3，T4]，T1、T2、T3、T4均为温度值，且T1＜T3≤T≤T4＜T2，通过线性差值公式计算该温度点T的压力输出值UT，其中U3、U4分别为温度点T3、T4下的压力输出值；3)根据式(2)计算出补偿后的压力输出值UT′，式(2)中，a0是常温下的传感器的零位，b0是常温下的传感器的灵敏度UT′=a0+UT-aTbT×b0---(2).]]>
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