[发明专利]防止在沉积工艺的吹扫过程中对真空阀门档板污染的方法在审
| 申请号： | 201610355236.6 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN105887044A | 公开（公告）日： | 2016-08-24 |
| 发明（设计）人： | 黄彪;刘涛;姚健敏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44;C23C16/50 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种防止在沉积工艺的吹扫过程中对真空阀门档板污染的方法，包括：第一步骤：在执行微通道结构球孔吹扫前在沟槽处放置遮挡装置；第二步骤：执行微通道结构球孔吹扫；第三步骤：移除所述遮挡装置。在本发明中，在进行微通道结构球孔吹扫前在沟槽处放置遮挡装置，以避免粉末吹入至真空阀门档板与腔体之间的沟槽内，由此防止对真空阀门档板的二次污染。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 沉积 工艺 过程 真空 阀门 档板 污染 方法 | ||
【主权项】：
一种防止在沉积工艺的吹扫过程中对真空阀门档板污染的方法，其特征在于包括：第一步骤：在执行微通道结构球孔吹扫前在沟槽处放置遮挡装置；第二步骤：执行微通道结构球孔吹扫；第三步骤：移除所述遮挡装置。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
