[发明专利]微动机构、动镜干涉仪和采用动镜干涉仪的红外光谱仪有效
申请号: | 201610355268.6 | 申请日: | 2016-05-25 |
公开(公告)号: | CN106066205B | 公开(公告)日: | 2018-09-21 |
发明(设计)人: | 敖小强;石磊;郜武 | 申请(专利权)人: | 北京雪迪龙科技股份有限公司 |
主分类号: | G01J3/02 | 分类号: | G01J3/02;G01J3/06;G01J3/45;G02B26/08 |
代理公司: | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人: | 武玉琴;王月春 |
地址: | 102206 北京市昌*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了微动机构、动镜干涉仪和采用动镜干涉仪的红外光谱仪,其中,该微动机构包括主动机构和从动机构,该主动机构包括:主动弹性簧片组、主动动子、斜块和主动定子;该从动机构包括:从动弹性簧片组、镜座、从动块、从动定子以及动镜模块;主动弹性簧片组的活动端处设置有所述主动动子和斜块,所述主动弹性簧片组的固定端通过所述主动定子固定;所述从动弹性簧片组的活动端处设置有镜座,所述从动块和所述动镜模块固定在所述镜座处,所述从动弹性簧片组的固定端通过所述从动定子固定,使所述从动弹性簧片组与主动弹性簧片组在未受外力时相互垂直,且使所述从动块与所述斜块可动地接触。具有体积小、重量轻、成本低、性能稳定的多种优点。 | ||
搜索关键词: | 微动 机构 干涉仪 采用 红外 光谱仪 | ||
【主权项】:
1.一种微动机构,其包括主动机构和从动机构,其中,所述主动机构包括:主动弹性簧片组(1001)、主动动子(1002)、斜块(1003)和主动定子(1004);所述从动机构包括:从动弹性簧片组(1101)、镜座(1102)、从动块(1103)、从动定子(1104)以及动镜模块;所述主动弹性簧片组(1001)的活动端处设置有所述主动动子(1002)和斜块(1003),所述主动弹性簧片组(1001)的固定端通过所述主动定子(1004)固定;所述从动弹性簧片组(1101)的活动端处设置有所述镜座(1102),所述从动块(1103)和所述动镜模块固定在所述镜座(1102)处,所述从动弹性簧片组(1101)的固定端通过所述从动定子(1104)固定,使所述从动弹性簧片组(1101)与主动弹性簧片组(1001)在未受外力时相互垂直,且使所述从动块(1103)与所述斜块(1003)可动地接触。
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