[发明专利]微动机构、动镜干涉仪和采用动镜干涉仪的红外光谱仪有效

专利信息
申请号: 201610355268.6 申请日: 2016-05-25
公开(公告)号: CN106066205B 公开(公告)日: 2018-09-21
发明(设计)人: 敖小强;石磊;郜武 申请(专利权)人: 北京雪迪龙科技股份有限公司
主分类号: G01J3/02 分类号: G01J3/02;G01J3/06;G01J3/45;G02B26/08
代理公司: 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 代理人: 武玉琴;王月春
地址: 102206 北京市昌*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了微动机构、动镜干涉仪和采用动镜干涉仪的红外光谱仪,其中,该微动机构包括主动机构和从动机构,该主动机构包括:主动弹性簧片组、主动动子、斜块和主动定子;该从动机构包括:从动弹性簧片组、镜座、从动块、从动定子以及动镜模块;主动弹性簧片组的活动端处设置有所述主动动子和斜块,所述主动弹性簧片组的固定端通过所述主动定子固定;所述从动弹性簧片组的活动端处设置有镜座,所述从动块和所述动镜模块固定在所述镜座处,所述从动弹性簧片组的固定端通过所述从动定子固定,使所述从动弹性簧片组与主动弹性簧片组在未受外力时相互垂直,且使所述从动块与所述斜块可动地接触。具有体积小、重量轻、成本低、性能稳定的多种优点。
搜索关键词: 微动 机构 干涉仪 采用 红外 光谱仪
【主权项】:
1.一种微动机构,其包括主动机构和从动机构,其中,所述主动机构包括:主动弹性簧片组(1001)、主动动子(1002)、斜块(1003)和主动定子(1004);所述从动机构包括:从动弹性簧片组(1101)、镜座(1102)、从动块(1103)、从动定子(1104)以及动镜模块;所述主动弹性簧片组(1001)的活动端处设置有所述主动动子(1002)和斜块(1003),所述主动弹性簧片组(1001)的固定端通过所述主动定子(1004)固定;所述从动弹性簧片组(1101)的活动端处设置有所述镜座(1102),所述从动块(1103)和所述动镜模块固定在所述镜座(1102)处,所述从动弹性簧片组(1101)的固定端通过所述从动定子(1104)固定,使所述从动弹性簧片组(1101)与主动弹性簧片组(1001)在未受外力时相互垂直,且使所述从动块(1103)与所述斜块(1003)可动地接触。
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