[发明专利]一种采用真空负压注浆成型技术制备ITO靶材的方法

摘要

一种采用真空负压注浆成型技术制备ITO靶材的方法，涉及材料领域。本发明采用氧化铟或氧化锡或氧化锆或氧化铈或氧化铋等溶胶作为粘结剂而不使用有机粘结剂配制浆料，采用真空负压注浆成型，真空负压以柔性方式施加给浆体，减少坯体成型内应力，成型、干燥和预烧一次原位完成。本发明可以有效减少ITO制造过程时间和成本，提高产品质量，特别适合于大规格ITO靶材的制造。本发明方法不仅适用于ITO靶材的成型，同样适用于AZO、IGZO等陶瓷靶材的成型。 1

主权项

1.一种采用真空负压注浆成型技术制备ITO靶材的方法，其特征在于：所述方法具体包括如下步骤：第一步、制备ITO浆料：首先根据靶材需求取氧化铟或氧化锡或两者的混合物，然后选用适量的氧化铟溶胶或氧化锡溶胶或氧化锆溶胶或氧化铈溶胶或氧化铋溶胶中的任意一种或一种以上的组合作为粘结剂，以去离子水或挥发性有机溶液或者两者的结合为溶剂，将上述物料一并投入研磨设备进行研磨，制备出高固相含量较低粘度的浆料（9），然后对浆料（9）进行过筛和真空除气后备用；第二步、注浆成型：接上步，将上述准备好的浆料（9）注入到真空负压注浆成型设备中由动模框（2）和过滤膜（3）组成的型腔中，然后把柔性耐高温真空密封膜（1）覆盖在真空室（6）和动模框（2）的开口端上面，使真空室（6）形成一个密闭的腔体，然后对真空室（6）抽真空，设置在真空室（6）内的浆料（9）在真空负压下脱水成型，所述真空负压注浆成型设备包括柔性耐高温真空密封膜（1）、动模框（2）、过滤膜（3）、承烧板（4）、加热工作台（5）和真空室（6），在所述真空室（6）的底部设有支撑架，在所述支撑架的上面设有加热工作台（5），在所述加热工作台（5）的上面设有承烧板（4），在所述承烧板（4）的上面设有过滤膜（3），所述过滤膜（3）、承烧板（4）和加热工作台（5）的外缘面处于动模框（2）的内腔中，过滤膜（3）和承烧板（4）的外缘面接触动模框（2）内腔的内壁，在由过滤膜（3）和动模框（2）内壁形成的型腔中设有浆料（9），在动模框（2）和真空室（6）上端的开口端设有柔性耐高温真空密封膜（1），真空室（6）的底部或侧边通过管道连接真空泵（8）；第三步、干燥和预烧：接上步，浆料（9）脱水成型后开始对真空负压注浆成型设备中的加热工作台（5）通电加热，控制真空室（6）的升温速度和每次升温间隔时间，在每次升温过程中，温度达到设定温度后进行保温，获得具有良好固化强度的靶坯；第四步、降温取出：接上步，停止加热后自然炉冷降温，然后停止抽真空，对真空室（6）放气，取下柔性耐高温真空密封膜（1），取下制备好的靶坯和承烧板（4），即可转入高温炉进行烧结。