[发明专利]柔性液晶显示器的底色均匀处理方法

摘要

本发明公开了一种柔性液晶显示器的底色均匀处理方法，该方法包括以下步骤：老化预处理；清洗；涂胶；曝光；显影和酸刻/脱膜。本发明增设了老化预处理步骤，在ito film投入生产前，必须进行老化处理，也就是通过高温长时间烘烤，使pet预收缩，从而降低后续加工过程中的变形，另外使氧化铟锡层进行再结晶，从而提高其物理化学性质的稳定性）。本方法的改进，有效避免ito膜在高温并冷却后出现剧烈收缩，产生形变等现象，而且ito图形干净干燥，表面不会产生严重或较严重程度褶皱的现象，因此达到底色均匀的效果。

主权项

一种柔性液晶显示器的底色均匀处理方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，老化预处理：对ito膜上的聚对苯二甲酸乙二酯进行高温长时间烘烤，并对氧化铟锡层进行再结晶，使得ito膜具有稳定的化学性质和物理性质；步骤2，清洗：对玻璃表面进行清洗；步骤3，涂胶：采用同向辊涂法对ito膜进行加工薄膜；步骤4，曝光：使用准平行光曝光设备进行掩膜曝光；在曝光过程中，正性光阻剂在接收分布在365纳米和420纳米附近紫外光时，在空气中水分子辅助下会发生光化学反应，接收紫外线的光阻膜会分解形成易溶解于常温弱碱的羧基（cooh）；而被掩膜版药面图形遮盖的部分，则保持光阻膜本身的耐常温弱碱的物理化学性质；步骤5，显影：耐常温弱碱在曝光过程中与紫外线有接触的光阻膜溶解，形成与曝光工序掩膜版图形一致的光阻膜图形，进行烘烤烤干并增强光阻膜和ito膜的结合力；步骤6，酸刻/脱膜：将无光阻膜保护的ito层酸蚀掉，将ito图形上的光阻膜去除，并通将ito图形上的钠离子去除掉，形成干净干燥的ito图形。