[发明专利]一种用于生产型磁控溅射系统的基片装载扫描机构

摘要

本发明公开了一种用于生产型磁控溅射系统的基片装载扫描机构，包括基片架、基片架驱动装置和扫描小车，所述基片架包括底板和用于承载基片盘的装片层，所述装片层安装于底板上，且与底板之间具有一定间距，所述基片架具有从上至下依次设置的装片工位、待卸片工位和卸片完成工位，所述基片架驱动装置可驱动基片架在装片工位、待卸片工位和卸片完成工位之间切换，所述扫描小车可与装片层对接，并承接和转运装片层上的基片盘。本发明通过扫描小车与基片架的协同作用，实现扫描小车将基片架上的基片盘转运至其他工位，无需使用真空机械手操作，提高了生产效率，降低了成本。

主权项

1.一种用于生产型磁控溅射系统的基片装载扫描机构，其特征在于：包括基片架（1）、基片架驱动装置（2）和扫描小车（3），所述基片架（1）包括底板（11）和用于承载基片盘的装片层（12），所述装片层（12）安装于底板（11）上，且与底板（11）之间具有一定间距，所述基片架（1）具有从上至下依次设置的装片工位、待卸片工位和卸片完成工位，所述基片架驱动装置（2）可驱动基片架（1）在装片工位、待卸片工位和卸片完成工位之间切换，所述扫描小车（3）可与装片层（12）或卸片层（13）对接，并承接和转运装片层（12）或卸片层（13）上的基片盘，所述基片架（1）、基片架驱动装置（2）和扫描小车（3）均位于所述生产型磁控溅射系统的工艺腔室（4）内，所述工艺腔室（4）的上方设有与工艺腔室（4）连通的预真空室（5），所述基片架驱动装置（2）驱动基片架（1）从工艺腔室（4）上升至预真空室（5）时，所述底板（11）可隔断预真空室（5）与工艺腔室（4），所述基片架（1）还包括可承接扫描小车（3）上基片盘的卸片层（13），所述卸片层（13）位于底板（11）与装片层（12）之间，所述装片工位、待卸片工位之间还包括扫描小车卸片工位，所述工艺腔室（4）内设有导向杆（8），所述基片架（1）的底板（11）上设有可沿导向杆（8）滚动的升降导向轮（14），所述导向杆（8）对应装片工位、扫面小车卸片工位、待卸片工位和卸片完成工位分别设有工位检测传感器（80），所述扫描小车（3）包括可与装片层（12）或卸片层（13）对接的U型台板（31），所述U型台板（31）具有U型槽（311），可与基片架（1）对中安装，所述基片盘尺寸大于U型槽（311）的尺寸，基片架（1）下降时，装片层（12）从U型槽（311）内下降且基片盘卡设于U型槽（311）上。