[发明专利]具有载物补偿功能的气浮导轨平台

摘要

本发明公开了一种具有载物补偿功能的气浮导轨平台。高精度导轨研究成为热门。本发明中气浮块的气浮轴套安装孔孔壁开设气嘴安装孔；气浮轴套安装孔内设置气浮轴套；气浮块的传感器安装孔内设置线性位移传感器；气嘴安装孔内放置气嘴，供气模块给气嘴供气；载物台与所有气浮模块的气浮块固定，驱动模块驱动载物台；气浮轴套的导轨安装孔与导轨间隙配合；气浮轴套的外圆面开设多个环形槽；每个环形槽底部开设通气孔组；通气孔组为沿圆周等角度但不均布的多个通气孔；每个通气孔内设置一个小孔节流器；所有环形槽的侧部相通，并与气浮块的气嘴安装孔连通。本发明能实时获取气浮模块高度信号，并对载物台高度进行实时补偿，提高加工精度。

主权项

具有载物补偿功能的气浮导轨平台，包括供气模块、驱动模块、底座、导轨、气嘴、载物台和n个气浮模块，n≥4，其特征在于：所述的导轨固定在底座上；所述的气浮模块由气浮轴套、O型密封圈、小孔节流器、线性位移传感器和气浮块组成；气浮块的中心开设有气浮轴套安装孔和传感器安装孔，气浮轴套安装孔的孔壁开设气嘴安装孔，传感器安装孔的孔壁开设导线孔；气浮轴套安装孔内设置气浮轴套；所述气浮轴套的两端与气浮块两端均安装有O型密封圈；传感器安装孔内设置线性位移传感器，线性位移传感器的电源线及数据线从导线孔穿出；线性位移传感器的检测面与底座的上表面平行；每个气浮模块的气嘴安装孔内放置一个气嘴，供气模块给各个气嘴供气；载物台与所有气浮模块的气浮块顶部均通过螺钉连接，驱动模块通过丝杠螺母副或带传动机构驱动载物台；所述的气浮轴套中心开设的导轨安装孔与导轨间隙配合；气浮轴套的外圆面开设有沿轴向布置的多个环形槽；每个环形槽底部开设通气孔组；通气孔组为沿圆周等角度但不均布的多个通气孔，气浮轴套位于下部的通气孔多于位于上部的通气孔；通气孔的内端与气浮轴套的导轨安装孔连通；每个通气孔内设置一个小孔节流器；所有环形槽的侧部相通，并与气浮块的气嘴安装孔连通。