[发明专利]自支撑超细金刚石单晶颗粒的制备方法

摘要

本发明提供了一种自支撑超细金刚石单晶颗粒的制备方法，其包括如下步骤：用金刚石微粉对有色金属衬底的表面进行研磨后，将所述有色金属衬底进行超声清洗；采用静电辅助热丝化学气相沉积法对所述有色金属衬底进行沉积，依次经过金刚石形核及金刚石颗粒生长两个阶段，得到所述自支撑的超细金刚石单晶颗粒。与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：1、本发明的静电辅助热丝化学气相沉积法，可在沉积中抑制金刚石颗粒与衬底附着，有效解决颗粒团聚的问题，可省去后续颗粒的衬底去除及提纯工艺，极大地提高CVD金刚石微粉的制备效率；2、本发明可实现金刚石超细单晶颗粒的动态生长，有效提高各金刚石颗粒生长的均匀性。

主权项

1.一种自支撑超细金刚石单晶颗粒的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：用金刚石微粉对至少两个有色金属衬底表面进行均匀机械研磨，粗化衬底表面，降低CVD金刚石形核表面能，再将所述有色金属衬底进行超声清洗去除残留微粉；采用静电辅助热丝化学气相沉积法对所述有色金属衬底进行沉积，依次经过金刚石形核及金刚石颗粒生长两个阶段，得到所述自支撑的超细金刚石单晶颗粒；所述静电辅助热丝化学气相沉积法具体包括如下操作：在热丝化学气相沉积设备上加装静电辅助装置，将经过所述机械研磨的至少两个有色金属衬底以5～10mm的间距置于所述热丝化学气相沉积设备内的陶瓷底座之上，再将至少两根热丝以5～10mm的间距等间距地平行排布于有色金属衬底上方2～5mm的位置，通过外设的静电发生辅助装置控制，将静电电压传于金属衬底，针对不同掺硼浓度、粒度的颗粒，实现衬底间的金刚石超细单晶颗粒发生间歇性波动。