[发明专利]一种片式结构宽域氧传感器的制备方法在审
申请号: | 201610363218.2 | 申请日: | 2016-05-27 |
公开(公告)号: | CN106018526A | 公开(公告)日: | 2016-10-12 |
发明(设计)人: | 肖建中;罗敏 | 申请(专利权)人: | 昆山南悦传感技术有限公司 |
主分类号: | G01N27/409 | 分类号: | G01N27/409 |
代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 聂启新 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种片式结构宽域氧传感器的制备方法:制备多孔扩散层浆料、牺牲材料浆料、Pt电极浆料以及绝缘层浆料、氧化锆流延生坯若干;将第一Pt电极和第二Pt电极印刷在第一氧化锆生坯层上下两面,将牺牲材料浆料印刷在第二Pt电极上面;将第三及第四Pt电极印刷在第二氧化锆生坯层上下面,将多孔扩散层浆料印刷在第三Pt电极上面;(4)将牺牲材料浆料印刷在第三氧化锆生坯层上表面;将绝缘层浆料印刷在第四氧化锆生坯层下面,将绝缘层浆料印刷在第五氧化锆生坯层上面;将加热电路印刷在第五氧化锆生坯层上绝缘层表面;将第一至第五氧化锆层按照从上至下顺序叠压并等静压压制使其粘和在一起,进行脱脂和烧结。本方法简单实用,性能优良。 | ||
搜索关键词: | 一种 结构 宽域氧 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种片式结构宽域氧传感器的制备方法,其特征在于包括以下步骤:(1)首先制备好多孔扩散层浆料、牺牲材料浆料、Pt电极浆料以及绝缘层浆料;制备好氧化锆流延生坯若干;(2)采用Pt电极浆料将第一Pt电极和第二Pt电极分别印刷在第一氧化锆生坯层的上下两面,然后将牺牲材料浆料印刷在第二Pt电极的上面;(3)采用Pt电极浆料将第三及第四Pt电极印刷在第二氧化锆生坯层的上下面,然后再将多孔扩散层浆料印刷在第三Pt电极的上面;(4)将牺牲材料浆料印刷在第三氧化锆生坯层的上表面;(5)将绝缘层浆料印刷在第四氧化锆生坯层的下面,将绝缘层浆料印刷在第五氧化锆生坯层的上面;(6)将加热电路印刷在第五氧化锆生坯层上表面的绝缘层表面;(7)最后将第一至第五氧化锆层按照从上至下的顺序叠压在一起,并进行等静压压制,使其粘和在一起,再进行脱脂和烧结。
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