[发明专利]半导体可动离子的测试系统及其控制系统在审
| 申请号： | 201610363894.X | 申请日： | 2016-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN107436384A | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 何骁伟 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R29/24 | 分类号： | G01R29/24 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种半导体可动离子的测试系统，包括控制装置，用于设置测试参数、控制测试过程和显示测试结果；测量装置，与所述控制装置通信连接，接收所述控制装置的测试参数和控制指令，并根据所述测试参数配置测试条件和根据控制指令执行测试；探针台，用于通过探针连接待测试半导体的焊盘，且与所述测量装置电气连接；其中，所述控制装置控制测量装置输出三角波，所述测量装置通过所述探针台向待测试半导体施加三角波电压、收集测试结果并反馈给所述控制装置。本发明还涉及该测试系统中用于控制装置的控制系统。上述测试系统测试操作更加简单、同时测试结果更加方便查看。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 离子 测试 系统 及其 控制系统 | ||
【主权项】：
一种半导体可动离子的测试系统，包括：控制装置，用于设置测试参数、控制测试过程和显示测试结果；测量装置，与所述控制装置通信连接，接收所述控制装置的测试参数和控制指令，并根据所述测试参数配置测试条件和根据控制指令执行测试；探针台，用于通过探针接触待测试半导体的焊盘，且与所述测量装置电气连接；其中，所述控制装置控制测量装置输出三角波，所述测量装置通过所述探针台向待测试半导体施加三角波电压、收集测试结果并反馈给所述控制装置。
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