[发明专利]一种控制铝箔隧道孔长度及其一致性的发孔腐蚀方法有效

专利信息
申请号: 201610364940.8 申请日: 2016-05-26
公开(公告)号: CN105977029B 公开(公告)日: 2019-01-04
发明(设计)人: 何业东;梁力勃;宋洪洲;杨小飞;蔡小宇 申请(专利权)人: 广西贺州市桂东电子科技有限责任公司
主分类号: H01G9/055 分类号: H01G9/055
代理公司: 南宁深之意专利代理事务所(特殊普通合伙) 45123 代理人: 徐国华
地址: 542899 广西*** 国省代码: 广西;45
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摘要: 发明公开了一种控制铝箔隧道孔长度及其一致性的发孔腐蚀方法,包括预处理、发孔腐蚀、扩孔腐蚀和后处理,本发明主要涉及到发孔腐蚀技术。通过测试铝箔在任意的发孔腐蚀体系中的隧道孔生长动力学曲线和发孔铝箔的阳极最大钝化电流密度,根据所需的隧道孔长度,确定每次通电的腐蚀时间、最低的腐蚀电流密度和电流衰减波形,最终获得对应发孔腐蚀体系下控制隧道孔长度和一致性的通断发孔腐蚀电流波形,并用该电流波形进行通电腐蚀。本发明适用于不同的发孔腐蚀体系,并且可以在铝箔中腐蚀获得不同长度且长度一致性良好的隧道孔,同时适用于根据不同厚度的铝箔腐蚀形成合适长度的隧道孔,有效提高铝箔的静电比容。该腐蚀技术适用于多V腐蚀工艺,相对于一次性通电腐蚀技术,可以显著提高工业铝箔腐蚀生产效率。
搜索关键词: 一种 控制 铝箔 隧道 长度 及其 一致性 腐蚀 方法
【主权项】:
1.一种控制铝箔隧道孔长度及其一致性的发孔腐蚀方法,其特征在于,将预处理后的铝箔置于发孔腐蚀溶液中采用通断电流波形进行发孔腐蚀,按照如下方法进行:当铝箔所需隧道孔长度<隧道孔极限长度时,采用通断式抛物线衰减电流波形腐蚀铝箔:波形的通断次数为2~8次,起始电流密度i0,其范围为200~800mA cm‑2,根据隧道孔生长动力学曲线的结果,将隧道孔生长至所需长度的时间作为每次通电的时间t1,其范围为10~20s,每次断电的时间t2,其范围为5~120s,根据阳极极化曲线的结果,将最大钝化电流密度i1作为每次通电时的最终腐蚀电流密度i1′,其范围为20~80mA cm‑2;当铝箔所需隧道孔长度等于或接近隧道孔极限长度时,采用通断式两阶段衰减电流波形腐蚀铝箔:波形的通断次数为2~8次,每次通电的第一阶段为恒流腐蚀,电流密度i0′,其范围为200~600mA cm‑2,第一阶段的腐蚀时间t0,其范围为5~10s;根据隧道孔生长动力学曲线的结果,将隧道孔长度≥极限长度的90%的时间作为每次通电的第二阶段的腐蚀时间t1′,其范围为15~100s,每次断电的时间t2′,其范围为5~120s,根据阳极极化曲线的结果,将最大钝化电流密度i1作为每次通电时的最终腐蚀电流密度i1″,其范围为20~80mA cm‑2;所述抛物线衰减电流波形是按照函数at2+bt+i0衰减,式中:腐蚀时间t为自变量,取值范围为0<t≤t1;a和b为常数,取值范围分别为0.0005~0.002和-0.05~-0.02;i0为起始电流密度,其范围为200~800mA cm‑2;所述阳极极化曲线其绘制方法为:将发孔腐蚀后的铝箔置于发孔腐蚀溶液中,利用电化学工作站绘制阳极极化曲线,获得最大钝化电流密度i1。
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