[发明专利]隔垫物及制作方法、显示装置有效
申请号: | 201610364981.7 | 申请日: | 2016-05-27 |
公开(公告)号: | CN105807503B | 公开(公告)日: | 2019-09-03 |
发明(设计)人: | 冯彦贵;熊正平;李朝;王静;田利军 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | G02F1/1339 | 分类号: | G02F1/1339 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 滕一斌 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种隔垫物及制作方法、显示装置,属于显示器领域。所述方法包括:将光阻材料涂布在基板上形成光阻层;使用掩膜板对光阻层进行曝光,掩膜板上设有图案区域和非图案区域;当光阻材料为负性光阻材料时,图案区域的透过率由中心向边缘递增;当光阻材料为正性光阻材料时,图案区域的透过率由中心向边缘递减;对曝光后的光阻层进行显影和烘烤,得到具有平坦的顶面的隔垫物,从而增大了隔垫物的接触面的面积,增加了机械强度,能够使阵列基板与彩膜基板之间液晶盒的厚度均一性变好,改善了显示质量。 | ||
搜索关键词: | 隔垫物 制作方法 掩膜板 显示装置 | ||
【主权项】:
1.一种隔垫物制作方法,其特征在于,所述方法包括:将光阻材料涂布在基板上形成光阻层;使用掩膜板对所述光阻层进行曝光,所述掩膜板上设有图案区域和非图案区域;当所述光阻材料为负性光阻材料时,所述图案区域的透过率由中心向边缘递增;当所述光阻材料为正性光阻材料时,所述图案区域的透过率由中心向边缘递减;所述图案区域用于将所述光阻层的对应位置形成隔垫物,所述非图案区域用于通过曝光和显影将所述光阻层的对应位置除去;对曝光后的所述光阻层进行显影和烘烤,得到具有平坦的顶面的隔垫物。
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