[发明专利]一种利用低温等离子技术改性材料表面性能的装置

摘要

本发明公开了一种利用低温等离子技术改性材料表面性能的装置，包括一个圆筒形外壳、安装在所述圆筒形外壳一端的密封盖、固定在圆筒形外壳内的多间距开槽石英板、安装在所述多间距开槽石英板上的高压电极板和接地电极板。本发明装置是利用两电极板高电压介质阻挡放电低温等离子区域产生的高能电子和活性自由基通过碰撞、交联、反应等对固体材料表面理化特性进行改性。本发明装置可广泛用于各种吸附剂、催化剂和固体材料等表面理化特性的改性，依据材料应用需求的表面特性，可通过调节压力、阻挡介质放电间距、气氛和放电电压等对固体材料表面进行改性处理，以适应不同固体材料表面改性需要。

主权项

一种利用低温等离子技术改性材料表面性能的装置，其特征在于，该装置包括一个圆筒形外壳(2)、安装在所述圆筒形外壳(2)一端的密封盖(1)、固定在圆筒形外壳(2)内的多间距开槽石英板(11)、安装在所述多间距开槽石英板(11)上的高压电极板(6)和接地电极板(8)。