[发明专利]一种适用于光纤铌酸锂晶片研磨的卡具

摘要

本发明公开了一种适用于光纤铌酸锂晶片研磨的卡具，由铌酸锂晶片夹具和夹具座、压板以及锁紧螺钉组成，通过锁紧螺钉可以调节夹具座与夹具之间的相对位置，改变夹具座与夹具之间的作用力，从而改变夹具对光纤铌酸锂晶片的预紧力。此外，夹具的铌酸锂晶片夹持处的尺寸大于夹具座容许的最大尺寸，在铌酸锂晶片与研磨盘接触时，研磨盘对铌酸锂晶片有作用力，则夹具与夹具座发生相对位移，夹具和夹具座的尺寸差使夹具通过自身的柔性铰链结构发生形变，从而改变夹具作用在铌酸锂晶片上的夹紧力。研磨夹具包围了光纤铌酸锂晶片的四个面，通过其中相对的两个面施加力，使铌酸锂晶片在研磨的过程中姿态更加稳定，更利于其他研磨参数的控制。

主权项

一种适用于光纤铌酸锂晶片研磨的卡具，其特征在于：包括卡具座、卡具、压板与锁紧螺钉；所述卡具座前部设计有卡具安装凹槽；后部设计有光纤放置凹槽；所述卡具后部侧壁具有倾斜的锁紧螺钉接触面；卡具前部设计有柔性铰链结构的左定位部分与右定位部分；左定位部分与右定位部分的相对侧壁上设计相对称的晶片定位凹进，分别用来定位光纤铌酸锂晶片左部分与右部分；上述卡具安装于卡具安装槽内，前部一侧具有倾斜的配合面，同时卡具安装槽一侧设计有凸起，凸起具有倾斜的定位面；通过配合面与定位面间的配合实现卡具在卡具座前后方向上的定位；同时，锁紧螺钉由卡具座侧壁上开设的螺纹孔穿入，与锁紧螺钉接触面接触，用于调节卡具安装槽内安装的卡具左部分与右部分对的铌酸锂晶片的夹持力；所述压板一侧与卡具座侧面间铰接，通过闭合压板，使压板内侧面与夹具顶面间贴合，且相对固定，实现卡具在卡具座内的固定。