[发明专利]对称结构双脊型石墨烯波导的结构设计

摘要

对称结构双脊型石墨烯波导的结构设计，属于光通信技术领域，涉及光波导制作技术。本发明将设计一种对称结构双脊型石墨烯波导的结构，包括SiO₂基底，Si波导，石墨烯层及其五方氮化硼夹层以及电极，其特征在于，建立双脊型的对称SiO₂基底，以Si为波导材料的双脊型波导中间插入三层石墨烯层，两层石墨烯层之间填充以五方氮化硼为材料的夹层，电极固定在SiO₂基底上，通电后，随着入射光注入，由于双脊型波导的对称结构，不需要对波导结构进行调整就可以使光场集中在石墨烯层上，避免了偏移的发生，从而提高工作效率。该双脊型石墨烯波导的两波导基底、石墨烯层及夹层结构对称，正负电极的结构也对称，整体结构设计简单，对生产工艺要求较低，有利于该石墨烯波导的量产和应用。

主权项

对称结构双脊型石墨烯波导的结构设计，包括SiO₂基底，Si波导层，石墨烯层及其夹层以及电极，其特征在于，建立双脊型的对称波导基底，在Si为波导材料的双脊型波导层中间插入三层石墨烯层，每两层石墨烯层之间填充以五方氮化硼为材料的夹层，电极固定在SiO₂基底上，通电后，随着入射光注入，由于双脊型波导的对称结构，不需要调整波导结构就可以使光场集中在石墨烯层上，避免了偏移的发生，从而提高工作效率。