[发明专利]一种介孔SiO2薄膜的制备方法及其产品和应用

摘要

本发明涉及一种介孔SiO₂薄膜的制备方法，包括如下的步骤：1)将正硅酸四乙酯溶于乙醇，滴加稀盐酸，混合搅拌；所述的正硅酸四乙酯与稀盐酸的摩尔比为1:1×10^‑5～8×10^‑5；2)向步骤1)得到的混合液中继续滴加稀盐酸，搅拌陈化，得到溶液A；所述的继续滴加的稀盐酸与正硅酸四乙酯的摩尔比为0.02～0.06:1；3)十六烷基三甲基溴化铵溶于乙醇，得到溶液B；4)将溶液B加入到溶液A中，搅拌并陈化0.5～2小时，得到产品；5)采用旋涂法在基板上镀膜，然后热处理，获得介孔SiO₂薄膜；本发明还涉及介孔SiO₂薄膜及其应用。本发明简化了介孔SiO₂薄膜的合成方法，在常温下制备溶胶并进行镀膜，经过热处理后得到具有增透效果的孔道有序排列的介孔膜。

主权项

1.一种介孔SiO2薄膜作为光学增透薄膜的应用，所述介孔SiO2薄膜的制备方法包括如下的步骤：1)将正硅酸四乙酯溶于乙醇，滴加稀盐酸，混合搅拌；所述的正硅酸四乙酯与稀盐酸的摩尔比为1:1×10‑5～8×10‑5；所述的步骤1)中混合搅拌时间为0.5～2h；所述的步骤1)中稀盐酸的摩尔浓度为0.002～0.004mol/L；2)向步骤1)得到的混合液中继续滴加稀盐酸，搅拌陈化，得到溶液A；所述的继续滴加的稀盐酸与正硅酸四乙酯的摩尔比为0.02～0.06:1；所述的步骤2)中搅拌陈化的时间为0.5～4h；所述的步骤2)中稀盐酸的摩尔浓度为0.45～0.65mol/L；3)十六烷基三甲基溴化铵溶于乙醇，得到溶液B；4)将溶液B加入到溶液A中，搅拌并陈化0.5～2小时，得到产品；所述的正硅酸四乙酯与十六烷基三甲基溴化铵的摩尔比为1:0.02～0.2；5)采用旋涂法在基板上镀膜，然后热处理，获得介孔SiO2薄膜；所述热处理是指：在400～500℃下热处理3～6h；所述的步骤5)中旋涂法是指：先500～700rd/min旋涂4～10s，后2000～6000rd/min旋涂6～20s。