[发明专利]多晶硅还原尾气回收方法及回收系统

摘要

本发明提供一种多晶硅还原尾气回收方法，包括：使还原尾气依次经过多级冷却处理，以输出气液混合物；对所述气液混合物进行气液分离处理，并利用分离出的混合气的冷量对还原尾气进行冷却处理；在氯化氢吸收塔中利用塔内自上而下的含有少量氯化氢的液相氯硅烷对冷量已被利用的混合气中的氯化氢进行吸收处理；在氯化氢解析塔中对氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷进行解析处理；利用氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷的冷量对氯化氢解析塔塔釜输出的含有少量氯化氢的液相氯硅烷进行冷却处理。相应地，提供一种多晶硅还原尾气回收系统。本发明综合利用了内部流股的冷、热量，公用工程冷量消耗少，降低了生产成本。

主权项

1.一种多晶硅还原尾气回收方法，所述还原尾气包括氢气、氯化氢气体和气相氯硅烷，其特征在于，包括如下步骤：/n使所述还原尾气依次经过多级冷却设备的多级冷却处理，以形成并输出气液混合物，其输出的气液混合物包括氢气、氯化氢和未被冷凝的气相氯硅烷的混合气，以及已冷凝的液相氯硅烷；/n利用第一气液分离罐对多级冷却设备输出的气液混合物进行气液分离处理，以将所述气液混合物中的氢气、氯化氢和未被冷凝的气相氯硅烷的混合气与已冷凝的液相氯硅烷分离，并在多级冷却设备中利用来自第一气液分离罐的混合气的冷量对所述还原尾气进行冷却处理；/n在氯化氢吸收塔中利用塔内自上而下的含有少量氯化氢的液相氯硅烷对来自第一气液分离罐的且冷量已被多级冷却设备利用的混合气中的氯化氢进行吸收处理，并从塔釜输出富含氯化氢的液相氯硅烷，从塔顶输出不凝气；/n将氯化氢吸收塔塔釜输出的且冷量已被氯硅烷换热器利用的富含氯化氢的液相氯硅烷分为两部分，其中一部分富含氯化氢的液相氯硅烷进入多级冷却设备，且冷量被多级冷却设备利用后进入第一气液分离罐，另一部分富含氯化氢的液相氯硅烷进入氯化氢冷凝器，且冷量被氯化氢冷凝器利用后进入氯化氢解析塔；其中，所述一部分富含氯化氢的液相氯硅烷占冷量已被氯硅烷换热器利用的富含氯化氢的液相氯硅烷的质量百分比为30％-50％，所述另一部分富含氯化氢的液相氯硅烷占冷量已被氯硅烷换热器利用的富含氯化氢的液相氯硅烷的质量百分比为50％-70％；/n在氯化氢解析塔中对氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷进行解析处理，并从塔釜输出含有少量氯化氢的液相氯硅烷，从塔顶输出轻组分；/n在氯化氢冷凝器中利用所述另一部分富含氯化氢的液相氯硅烷的冷量将氯化氢解析塔塔顶输出的轻组分冷凝为液体并送入回流罐中，再使回流罐输出的冷凝液分为两部分，其中一部分冷凝液回流至氯化氢解析塔，另一部分冷凝液采出至下游的合成工序；其中，所述一部分冷凝液占回流罐输出总量的质量百分比为30％-50％，所述另一部分冷凝液占回流罐输出总量的质量百分比为50％-70％；/n在氯硅烷换热器中利用氯化氢吸收塔塔釜输出的富含氯化氢的液相氯硅烷的冷量对氯化氢解析塔塔釜输出的含有少量氯化氢的液相氯硅烷进行冷却处理，再将冷却后含有少量氯化氢的液相氯硅烷送入氯化氢吸收塔上部。/n