[发明专利]多晶硅生产工艺的尾气处理系统及处理方法在审
| 申请号： | 201610368429.5 | 申请日： | 2016-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN107441913A | 公开（公告）日： | 2017-12-08 |
| 发明（设计）人： | 江庆云;王玉丽;蒋鹏 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D53/68 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,姜春咸 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市乌鲁*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅生产工艺的尾气处理系统及处理方法，该系统包括尾气缓冲罐，用于收集并缓存多晶硅生产工艺的尾气；第一水力喷射器，与尾气缓冲罐连接，用于对尾气进行喷射加速；淋洗装置，与第一水力喷射器连接，用于通过淋洗除去经过喷射加速后的尾气中的氯硅烷、氯化氢。将多晶硅生产尾气通过尾气缓冲罐缓冲后，然后通过第一水力喷射器喷射加速，在第一水力喷射器内尾气与高速流动的水进行了喷淋水解处理，可将尾气中的大部分氯硅烷进行水解，加快了尾气在淋洗装置的进气管道的流动速度，避免了在进气管道的滞留，从而杜绝了在进气管道产生水解物而堵塞，提高了尾气处理系统的使用效率，降低了维护成本，提高了尾气处理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产工艺 尾气 处理 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅生产工艺的尾气处理系统，其特征在于，包括：尾气缓冲罐，用于收集并缓存多晶硅生产工艺的尾气；第一水力喷射器，与所述尾气缓冲罐连接，所述第一水力喷射器用于对尾气进行喷射加速；淋洗装置，与所述第一水力喷射器连接，所述淋洗装置用于通过淋洗除去经过喷射加速后的尾气中的氯硅烷、氯化氢。
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