[发明专利]压印装置、压印方法以及物品制造方法在审
| 申请号： | 201610369499.2 | 申请日： | 2016-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN106226992A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 马场规和;深川容三 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B29C59/02 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司11293 | 代理人： | 迟军 |
| 地址： | 日本东京都大*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种压印装置、压印方法以及物品制造方法。压印装置用于使用模具对基板上的压印材料形成图案，所述压印装置包括：驱动单元，其被构造为调整所述模具与所述基板之间的距离和相对倾斜；摄像单元，其被构造为在通过由所述驱动单元减小所述模具与所述基板之间的距离来扩大所述模具与所述压印材料之间的接触区域的过程中，多次拍摄通过经由所述模具照明所述基板而形成的干涉条纹；以及控制单元，其被构造为控制所述驱动单元，以基于由所述摄像单元多次拍摄的图像，在所述过程中多次校正所述模具与所述基板之间的相对倾斜。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 装置 方法 以及 物品 制造 | ||
【主权项】：
一种压印装置，其用于使用模具对基板上的压印材料形成图案，所述压印装置包括：驱动单元，其被构造为调整所述模具与所述基板之间的距离和相对倾斜；摄像单元，其被构造为在通过由所述驱动单元减小所述模具与所述基板之间的距离来扩大所述模具与所述压印材料之间的接触区域的过程中，多次拍摄通过经由所述模具照明所述基板而形成的干涉条纹；以及控制单元，其被构造为控制所述驱动单元，以基于由所述摄像单元多次拍摄的图像，在所述过程中多次校正所述模具与所述基板之间的相对倾斜。
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