[发明专利]一种静电夹具

摘要

一种静电夹具，其由下至上依次包括基底层、第一绝缘层、电极层、第二绝缘层、介电层，各层级之间通过粘膜层连接，所述电极层内形成电极，所述介电层上设有多个凸节，各凸节外包覆有第一导体膜和第二导体膜。本发明提供的静电夹具，固持有力、结构稳定，同时能够避免漏电。

主权项

1.一种静电夹具，其特征在于：所述静电夹具由下至上依次包括基底层、第一绝缘层、电极层、第二绝缘层、介电层，各层级之间通过粘膜层连接，所述电极层内形成电极，所述介电层上设有多个凸节，各凸节外包覆有第一膜和第二膜，其中，所述基底层的材质为氯丁橡胶，厚度介于10‑20微米；所述第一绝缘层的材质为装置陶瓷，厚度介于4‑10微米；所述第二绝缘层的材质为绝缘玻璃，厚度介于6‑10微米；所述电极层的材质为铜金属，厚度介于6‑12微米；所述介电层的材质为氧化钛，厚度介于1‑6微米；各粘膜层的材质为硅胶，厚度介于0.2‑0.8微米；所述第一膜的材质为氧化铝，厚度介于0.5‑0.8微米；所述第二膜的材质为金属镍，厚度介于0.5‑0.8微米；所述凸节的材质为氧化钛，其直径介于1‑3微米，厚度介于4‑7微米。