[发明专利]光刻版、互连线图形的光刻方法及互连线的制备方法

摘要

本发明提供了一种光刻版、互连线图形的光刻方法及互连线的制备方法，通过将第一互连线图形的一端设计为具有多级台阶状边缘的图形，通过调节台阶的高度与台阶的宽度的大小及比例来控制多级台阶状边缘经OPC修正后的倾斜角，解决了现有工艺中由于设计规则限制，只能制备45°或90°倾斜角的互连线的问题，实现了互连线倾斜角的自由可调，为提高器件的性能提供了一种可行性途径。

主权项

1.一种用于制备互连线的光刻版，光刻版中包括第一互连线图形以及与第一互连线图形相连接的第二互连线图形；其特征在于，第一互连线图形的一端为具有多级台阶状边缘的图形，具有多级台阶状边缘的图形与第二互连线图形连接；通过调节多级台阶状边缘中台阶的高度和宽度的大小及比例来控制所述多级台阶状边缘经OPC修正后的倾斜角，使得多级台阶状边缘经OPC修正后的倾斜角的正切值等于台阶的高度与台阶的宽度的比值。