[发明专利]加工衬底的装置有效
| 申请号： | 201610371013.9 | 申请日： | 2016-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN106206371B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 金大勋;朴贵秀 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 石宝忠 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种用于加工衬底的装置，包括：加载口，其上设有容纳衬底的衬底传送容器；加工部件，其被配置以加工衬底；以及包括索引机器人的索引部件，其被配置以在所述衬底传送容器和所述加工部件之间运载衬底，其中所述加工部件包括：第一传送室，其被配置以具有运载衬底并邻近所述索引部件布置的第一主运载机器人；第二传送室，其被配置以具有运载衬底并邻近所述第一传送室布置的第二主运载机器人；以及穿梭缓冲部件，其被配置以在所述第一传送室和所述第二传送室之间移动从而在所述第二主运载机器人和所述索引机器人之间传送衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 衬底 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于加工衬底的装置，所述装置包括：加载口，其上设有容纳衬底的衬底传送容器；加工部件，其被配置以加工所述衬底；和包括索引机器人的索引部件，其被配置以在所述衬底传送容器和所述加工部件之间运载所述衬底，其中所述加工部件包括：第一传送室，其被配置以具有运载衬底并邻近所述索引部件布置的第一主运载机器人；第二传送室，其被配置以具有运载衬底并邻近所述第一传送室布置的第二主运载机器人；和穿梭缓冲部件，其被配置以在所述第一传送室和所述第二传送室之间移动从而在所述第二主运载机器人和所述索引机器人之间传送衬底；且所述装置还包括：怠工控制部件，其被配置以将所述第一主运载机器人移出所述穿梭缓冲部件的传送路径从而防止所述穿梭缓冲部件移动时与所述第一主运载机器人碰撞。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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