[发明专利]一种掩膜板、阵列基板、其制作方法及显示装置

摘要

本发明公开了一种掩膜板、阵列基板、其制作方法及显示装置，掩膜板包括间隔设置的遮光区域和透光区域，以及设置在至少部分遮光区域与透光区域之间的半透光区域；半透光区域具有锯齿状图形。由于现有的掩膜板中半透光区域相对应的区域为遮光区域，使用现有曝光设备进行曝光时，透光区域的曝光不足，使透光区域本该被曝光的区域仍存在粘连，从而影响曝光线度。因此，通过在至少部分遮光区域与透光区域之间设置半透光区域，在同等曝光条件下，可以提高透光区域的曝光强度，从而可以进一步减小曝光线度，使得TFT沟道的长度减小，使其符合高PPI的生产需求；还可以减小布线区的线距，缩小布线区占用空间，使其符合窄边框要求。

主权项

一种掩膜板，其特征在于，包括：间隔设置的遮光区域和透光区域，以及设置在至少部分所述遮光区域与透光区域之间的半透光区域；其中，所述半透光区域具有锯齿状图形。