[发明专利]一种高效率真空镀膜系统在审
| 申请号： | 201610372217.4 | 申请日： | 2016-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN105803387A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 陈学兵 | 申请（专利权）人： | 苏州普京真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 徐萍 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高效率真空镀膜系统，包括：进料装置、镀膜架、镀膜室、中央处理器、驱动装置和出料装置，所述进料装置、镀膜架之间相连接，所述中央处理器位于所述镀膜室内，所述镀膜室内包含有若干镀膜装置。通过上述方式，本发明提供的高效率真空镀膜系统，避免了镀膜气体的污染，且提高了镀膜的质量，且镀膜的方式较为方便，使用工厂的大规模的使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效率 真空镀膜 系统 | ||
【主权项】：
一种高效率真空镀膜系统，其特征在于，包括：进料装置、镀膜架、镀膜室、中央处理器、驱动装置和出料装置，所述进料装置、镀膜架之间相连接，所述中央处理器位于所述镀膜室内，所述镀膜室内包含有若干镀膜装置。
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