[发明专利]容易进行导电性检查的振动致动器

摘要

本发明涉及容易进行导电性检查的振动致动器。该振动致动器使得能够容易地检查用于连接电气机械能量转换元件的电极与GND电势的导电路径的导电性。在该振动致动器中，振动元件包含由电气绝缘性、介电性或半导电性材料形成的弹性体和与弹性体接合的压电元件。压电元件包含在压电体的如下表面上形成的第一电极，经由该表面，压电体与弹性体接合；以经由压电体与第一电极相对的方式设置的第二电极；和分别具有在压电体中形成的通孔中的导体的至少两个导电路径。所述至少两个导电路径中的一个电连接第一电极与第二电极。

主权项

1.一种振动致动器，在该振动致动器中，振动元件与从动元件相互接触，并且从动元件与振动元件相对地移动，其特征在于，振动元件包含：弹性体，所述弹性体的主成分包含电气绝缘性、介电性或半导电性材料；和电气机械能量转换元件，与所述弹性体接合，所述电气机械能量转换元件包含：压电体；第一电极，所述第一电极被设置在所述压电体的所述压电体与所述弹性体接合的表面上；多个第二电极和多个第三电极，所述多个第二电极和所述多个第三电极以经由所述压电体与所述第一电极相对的方式被设置；和多个第一导电路径，所述多个第一导电路径分别具有被布置于在所述压电体中形成的通孔或在所述压电体的侧表面中形成的沟槽中的导体，以及其中所述多个第一导电路径分别地单独将所述多个第三电极中的一部分电连接到所述第一电极。