[发明专利]热压铸模具表面涂层的制备方法有效
申请号: | 201610377803.8 | 申请日: | 2016-05-31 |
公开(公告)号: | CN106399952B | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 马胜利 | 申请(专利权)人: | 西安浩元航空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/16;C23C14/06;B24C1/00 |
代理公司: | 西安恒泰知识产权代理事务所 61216 | 代理人: | 李郑建 |
地址: | 710089 陕西省西安市阎良区*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及热压铸模具表面涂层的制备方法,将热压铸模具表面喷砂及清洗处理后,放入电弧离子镀设备内,以矩形Ti靶作为底层的Ti来源,矩形Ti靶安置在炉体左内壁上,通过矩形Ti靶电弧电源的电流控制矩形Ti靶的蒸发率,在热压铸模具表面制备Ti底层;然后以圆形CrAl靶作为制备CrAlN涂层的Cr、Al元素来源,其中Cr、Al元素的原子成分比例为Cr/Al=70/30,通过圆形CrAl靶电弧电源的电流控制CrAl靶的蒸发率;采用高纯N2作为反应气体,使其离化并与Cr、Al元素结合,在Ti底层上沉积形成CrAlN涂层。所制备的CrAlN涂层,抗氧化温度1100℃,硬度Hv3000,能很好满足热压铸模具的耐磨损性能、抗热疲劳性能和抗氧化性能要求。适合于高温、高速、重载等严酷服役条件下的热压铸模具表面强化应用。 | ||
搜索关键词: | 压铸 模具 表面 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种热压铸模具表面涂层的制备方法,其特征在于,该方法将硬度为HRC=43的4Cr5MoV1Si材料制作的热压铸模具表面除油、喷砂后进行超声波清洗、酒精脱水后,放入电弧离子镀设备内,以矩形Ti靶作为底层的Ti来源,矩形Ti靶安置在炉体左内壁上,通过矩形Ti靶电弧电源的电流控制矩形Ti靶的蒸发率,在热压铸模具表面制备一层Ti底层;然后以圆形CrAl靶作为制备CrAlN涂层的Cr、Al元素来源,其中Cr、Al元素的原子成分比例为Cr/Al=70/30,通过圆形CrAl靶电弧电源的电流控制CrAl靶的蒸发率;采用高纯N2作为反应气体,使其离化并与Cr、Al元素结合,在Ti底层上沉积形成CrAlN涂层;具体的电弧离子镀工艺条件是:(1)等离子体刻蚀将表面除油、喷砂后进行超声波清洗、酒精脱水后的热压铸模具装入电弧离子镀膜真空室,抽真空并加热到500℃,镀膜前,通入20mL /min的Ar到真空室,当真空室气压达到6Pa时,开偏压至‑1000V对真空室的热压铸模具表面进行轰击刻蚀和除气处理,持续120分钟;(2)Ti底层制备等离子体刻蚀完成后,调节Ar流量到30mL /min,将真空室气压调至0.3Pa,打开矩形Ti靶电弧电源,弧电流100A,调整偏压到‑200V,持续10分钟,在热压铸模具表面制备得到Ti底层;(3)CrAlN涂层制备Ti底层制备完成后,将偏压调整为‑80V,将Ar流量关闭,打开N2开关,调整N2流量使真空室气压为0.8Pa,将矩形Ti靶关闭,将圆形CrAl靶打开,电流为80A,开始在Ti底层上制备CrAlN涂层,持续240分钟,在Ti底层表面沉积形成CrAlN涂层,该CrAlN涂层的抗氧化温度1100℃,硬度Hv3000。
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