[发明专利]一种工作台自适应调平装置有效
| 申请号： | 201610378576.0 | 申请日： | 2016-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN106066580B | 公开（公告）日： | 2017-10-31 |
| 发明（设计）人： | 韦日文;王胜利;胡泓 | 申请（专利权）人： | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司44223 | 代理人： | 杨洪龙 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区龙城*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工作台自适应调平装置，包括绕动机构和弹性机构，所述绕动机构包括调平板，所述弹性机构包括弹性支座、弹性机构转轴、多个弹性机构弹性部件，所述多个弹性机构部件分别设置于所述弹性支座的不同受力位置，所述调平板在受力的状态下对所述弹性支座上对应的某受力位置的弹性机构弹性部件施加压力，所述弹性支座上的所述某受力位置以外的受力位置可绕所述弹性机构转轴朝所述调平板转动，并通过对应的弹性机构弹性部件对所述调平板施加弹力。本发明其体积小，质量轻，结构稳定可靠，涉及接触式光刻机设备技术领域，对手动对准定位及自动对准定位均适用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工作台 自适应 平装 | ||
【主权项】：
一种工作台自适应调平装置，其特征是，包括绕动机构和弹性机构，所述绕动机构包括调平板，所述弹性机构包括弹性支座、弹性机构转轴、多个弹性机构弹性部件，所述多个弹性机构部件分别设置于所述弹性支座的不同受力位置，所述弹性支座包括三个弹性支座臂，每个弹性支座臂之间的夹角相同，所述弹性机构弹性部件分别设置于每个弹性支座臂的相同位置，所述调平板在受力的状态下对所述弹性支座上对应的某受力位置的弹性机构弹性部件施加压力，所述弹性支座上的所述某受力位置以外的受力位置可绕所述弹性机构转轴朝所述调平板转动，并通过对应的弹性机构弹性部件对所述调平板施加弹力。
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