[发明专利]一种超高真空样品存储转移平台

摘要

本发明的超高真空样品存储转移平台，包括样品存储转移腔和样品存储台，所述的样品存储转移腔由九个真空管路端部并联而成，九个真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰；设有观察窗与所述第一法兰相密封连接；设有磁力驱动传送杆与所述第二法兰相密封连接；设有闸板阀与所述第四法兰相密封连接；设有分子泵与所述第五法兰相密封连接；设有二维调节机构与所述第九法兰相密封连接；所述样品存储台与所述二维调节机构相连接；所述的样品存储转移腔通过超高真空维持装置保持超高真空环境；所述的闸板阀通过法兰与超高真空系统腔体相连，并通过闸板阀的开关实现超高真空系统腔体和样品存储转移平台的通路或闭合。

主权项

一种超高真空样品存储转移平台，其特征是包括样品存储转移腔和样品存储台，所述的样品存储转移腔由九个真空管路端部并联而成，九个真空管路的外侧设有能够与其他装置进行真空密封连接的真空法兰，包括第一法兰、第二法兰、第三法兰、第四法兰、第五法兰、第六法兰、第七法兰、第八法兰、第九法兰；设有观察窗与所述第一法兰相密封连接；设有磁力驱动传送杆与所述第二法兰相密封连接；设有第二观察窗与所述第三法兰相密封连接；设有闸板阀与所述第四法兰相密封连接；设有分子泵与所述第五法兰相密封连接；设有第二闸板阀与所述第六法兰相密封连接；设有第三观察窗与所述第七法兰相密封连接；设有第二磁力驱动传送杆与所述第八法兰相密封连接；设有二维调节机构与所述第九法兰相密封连接；所述样品存储台与所述二维调节机构相连接；所述的样品存储转移腔通过超高真空维持装置保持超高真空环境；所述的闸板阀通过法兰与超高真空系统腔体相连，并通过闸板阀的开关实现超高真空系统腔体和样品存储转移平台的通路或闭合。