[发明专利]一种光刻机工件台自动清洁装置及方法有效
| 申请号： | 201610379102.8 | 申请日： | 2016-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN107442518B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 黄静莉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/04 | 分类号： | B08B5/04;B08B3/00;B08B1/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻机工件台自动清洁装置及方法，该装置包括：台面除尘机构，可收缩式安装于主基板下表面，用于吸附承片台表面的灰尘杂物；台面清洁机构，可收缩式安装于主基板下表面，用于与所述承片台的上表面接触，涂覆防静电液；以及导轨除尘机构，固定于工件台长行程运动模块的两侧，并与气浮导轨的位置对应。本发明中，将台面除尘机构和台面清洁机构固定在主基板下方，利用工件台在水平面上的移动，可令承片台主动靠近或接触台面除尘机构和台面清洁机构，完成承片台的维护；同时，利用导轨除尘机构抽吸两侧气浮导轨上的灰尘杂物，实现对导轨的维护。本发明清洁效率高、人员劳动强度低、设备损坏的隐患小，大大提高了设备的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机工 自动 清洁 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机工件台自动清洁装置，其特征在于，包括：/n台面除尘机构，可收缩式安装于主基板下表面，用于吸附承片台表面的灰尘杂物；其中，所述台面除尘机构包括第一气缸、第一齿条、第一齿轮、第一固定轴、第一真空吸嘴以及第一管路，所述第一气缸的固定端固定于所述主基板下表面，活动端与所述第一齿条固定连接，所述第一齿条与所述第一齿轮啮合，所述第一齿轮与所述第一真空吸嘴通过所述第一固定轴固定连接，所述第一真空吸嘴的一端通过所述第一管路连接至外界，另一端在所述第一固定轴的带动下接近或远离所述承片台；/n台面清洁机构，可收缩式安装于主基板下表面，用于与所述承片台的上表面接触，涂覆防静电液；/n以及导轨除尘机构，固定于工件台长行程运动模块的两侧，并与气浮导轨的位置对应。/n
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