[发明专利]照明光学系统及采用该照明光学系统的光刻设备有效
| 申请号： | 201610379351.7 | 申请日： | 2016-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN107450274B | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 何志远;马鹏川 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种照明光学系统及采用该系统的光刻设备，其中照明光学系统包括：峰值波长互不相同的至少两组LED光源阵列；分别一一对应地布置在各组LED光源阵列出光侧、以使得每组LED光源阵列发出的光束经其透射后均成为平行光束的若干个光束准直元件；用于将各个光束准直元件透射出的各个平行光束合成为一整束总平行光束的若干块光束合成元件；设于所述总平行光束的光路上的光束耦合元件；以及位于光束耦合元件出光侧的均光元件；所述总平行光束经过光束耦合元件的耦合后，射入所述均光元件，在均光元件出射端得到光线分布均匀的平行光束。本发明这种照明光学系统结构简单，能量利用率高，便于安装调试与控制，安全性高。 | ||
| 搜索关键词： | 照明 光学系统 采用 光刻 设备 | ||
【主权项】：
1.一种照明光学系统，其特征在于，包括：峰值波长互不相同的至少两组LED光源阵列；分别一一对应地布置在各组LED光源阵列出光侧、以使得每组LED光源阵列发出的光束经其透射后均成为平行光束的若干个光束准直元件；用于将所述各个光束准直元件透射出的各束平行光束合成为一整束总平行光束的若干个光束合成元件；设于所述总平行光束的光路上的光束耦合元件；以及位于所述光束耦合元件出光侧的均光元件；所述总平行光束经过所述光束耦合元件的耦合后，射入所述均光元件，在所述均光元件的出射端得到光线分布均匀的平行光束；所述光束准直元件为准直透镜组，所述准直透镜组包括沿光轴依次排布的第一透镜、第二透镜和第三透镜，其中第一透镜的物面位于LED光源阵列的出光端；在各个所述准直透镜组中，所述第一透镜朝向所述LED光源阵列那一面的通光孔径大于该LED光源阵列的外接圆半径。
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