[发明专利]电压模型RF偏置应用的大动态范围RF电压传感器和方法有效
| 申请号： | 201610379541.9 | 申请日： | 2016-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN106226577B | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 龙茂林;约翰·德鲁厄里;亚历克斯·帕特森 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00;H01J37/20 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;杨学春 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及电压模型RF偏置应用的大动态范围RF电压传感器和方法。衬底处理系统的电压传感器包括多分压器电路、钳位电路和第一和第二输出。多分压器电路接收表示在衬底的RF电压的射频信号。多分压器电路包括相应信道的分压器和根据接收到的射频信号输出第一和第二下降的电压。下降的电压小于RF电压。当RF电压大于第二预定电压或第一下降的电压大于第三预定电压时，钳位电路钳位第一下降的电压到第一预定电压。当所接收到的RF信号是在第一和第二电压范围内时，第一和第二输出分别基于第一和第二下降的电压将输出信号输出。第一预定电压是基于所述第一电压范围的最大值。 | ||
| 搜索关键词： | 电压 模型 rf 偏置 应用 动态 范围 传感器 方法 | ||
【主权项】：
1.一种衬底处理系统的电压传感器，所述电压传感器包括：多分压器电路，其被配置成接收射频信号，其中，所接收的所述射频信号表示被提供在所述衬底处理系统的等离子体室内的衬底的射频电压，其中，所述多分压器电路包括第一分压器和第二分压器，其中所述第一分压器对应于第一信道，并基于所接收的所述射频信号输出第一下降的电压，其中，所述第二分压器对应于第二信道，并基于所接收的所述射频信号输出第二下降的电压，且其中所述第一下降的电压和所述第二下降的电压小于所述射频电压；钳位电路，其被配置成当(i)所述射频电压大于第二预定电压，或(ii)所述第一下降的电压大于第三预定电压时，将所述第一下降的电压钳位在第一预定电压；所述第一信道的第一输出，其被配置为基于所述第一下降的电压并且当所接收的所述射频信号是在第一电压范围或第二电压范围中的至少一者内时输出第一输出信号，其中，所述第二电压范围比所述第一电压范围高，并且其中所述第一预定电压基于所述第一电压范围的最大值；以及所述第二信道的第二输出，其被配置为基于所述第二下降的电压并且当所接收的所述射频信号是在所述第一电压范围或所述第二电压范围中的至少一者内时输出第二输出信号。
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