[发明专利]双工位曝光方法有效
申请号: | 201610380533.6 | 申请日: | 2016-05-31 |
公开(公告)号: | CN105974746B | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
发明(设计)人: | 周勇;张志鹏;蔡志浩;袁永仪;刘华珠;赵晓芳 | 申请(专利权)人: | 东莞市威力固电路板设备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H05K3/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 523303 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种双工位曝光方法,包括:提供双工位曝光生产线、工位检测、送板、曝光和转板,所述双工位曝光生产线包括第一工位、第二工位、第一吸盘和第二吸盘;所述第一吸盘依次吸取所述板材分别转至所述第一工位和所述第二工位,当所述第一工位的所述板材曝光完成后,所述第二吸盘吸取所述第一工位的已完成曝光的所述板材转离至下一工位,所述第一吸盘为所述第一工位补充待曝光的所述板材;当所述第二工位完成曝光后,所述第二吸盘吸取所述第二工位的已完成曝光的所述板材转离至下一工位,所述第一吸盘为所述第二工位补充待曝光的所述板材。与相关技术相比,本发明提供的双工位曝光方法操作简单,生产效率高。 | ||
搜索关键词: | 工位 曝光 吸盘 双工位 工位检测 生产效率 补充 送板 转板 | ||
【主权项】:
1.一种双工位曝光方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤S1、提供双工位曝光生产线,包括用于实现曝光工序的第一工位和第二工位;与所述第一工位和所述第二工位配合的第一吸盘和第二吸盘;控制所述第一工位、所述第二工位、所述第一吸盘和所述第二吸盘动作的控制器;用于分别检测所述第一工位和所述第二工位是否为空位状态的第一传感器和第二传感器;及板材;步骤S2、工位检测,所述第一传感器检测所述第一工位是否为空位状态,所述第二传感器检测所述第二工位是否为空位状态;步骤S3、送板,若所述第一工位和所述第二工位为空位状态,则所述第一传感器产生第一无板信号发送至所述控制器,所述第二传感器产生第二无板信号发送至所述控制器,所述控制器接收所述第一无板信号和所述第二无板信号后驱动所述第一吸盘先后吸取两块待曝光的所述板材分别转运至所述第一工位和所述第二工位;步骤S4、曝光,所述第一传感器检测所述第一工位存在待曝光的所述板材时,则产生第一有板信号并发送至所述控制器,所述控制器接收所述第一有板信号后驱动所述第一工位启动曝光动作;所述第二传感器检测所述第二工位存在待曝光的所述板材时,则产生第二有板信号并发送至所述控制器,所述控制器接收所述第二有板信号后驱动所述第二工位启动曝光动作;步骤S5、转板,当所述第一工位曝光完成后产生第一曝光完成信号并发送至所述控制器,所述控制器接收所述第一曝光完成信号后驱动所述第二吸盘将所述第一工位已完成曝光动作的所述板材转运至下一工位,此时,所述第一传感器检测所述第一工位为空位状态时产生所述第一无板信号发送至所述控制器,所述控制器接收到所述第一曝光完成信号且接收到所述第一无板信号后驱动所述第一吸盘吸取待曝光的所述板材转运至所述第一工位,进入所述曝光步骤;当所述第二工位曝光完成后产生第二曝光完成信号并发送至所述控制器,所述控制器接收所述第二曝光完成信号后驱动所述第二吸盘将所述第二工位已完成曝光动作的所述板材转运至下一工位,此时,所述第二传感器检测所述第二工位为空位状态时产生所述第二无板信号发送至所述控制器,所述控制器接收到所述第二曝光完成信号且接收到所述第二无板信号后驱动所述第一吸盘吸取待曝光的所述板材转运至所述第二工位,进入所述曝光步骤。
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