[发明专利]一种真空炉有效

专利信息
申请号: 201610380708.3 申请日: 2016-05-31
公开(公告)号: CN105890345B 公开(公告)日: 2018-04-10
发明(设计)人: 向勇;傅绍英;杨小军 申请(专利权)人: 成都西沃克真空科技有限公司
主分类号: F27B5/05 分类号: F27B5/05;F27B5/02;F27B5/06;F27B5/14;F27B5/16
代理公司: 北京众达德权知识产权代理有限公司11570 代理人: 詹守琴
地址: 610200 四川省成都市双流*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种真空炉,包括固定在操作箱的侧壁上的第一真空腔室、固定在操作箱的侧壁上的第二真空腔室、用于盖设第二真空腔室的腔盖。第二真空腔室容置于所述第一真空腔室内部;在第二真空腔室的内部设置有载物台,所述载物台上放置工件;而在所述第二真空腔室的外壁覆盖有密闭的加热腔室,在所述加热腔室内部设置有加热组件,所述加热组件沿所述第二真空腔室的外壁依次排列,用于对所述第二真空腔室进行加热,此结构可将加热组件和工件区分,进而避免加热组件对工件的污染,提高工件的质量。
搜索关键词: 一种 真空炉
【主权项】:
一种真空炉,其特征在于,包括:第一真空腔室,固定在操作箱的侧壁上;所述第一真空腔室包括充气口和排气口;所述第一真空腔室的充气口用于充入气体;所述第一真空腔室的排气口用于排出所述气体;所述第一真空腔室充入的气体是氩气和/或氮气进而快速降温;第二真空腔室,容置于所述第一真空腔室内部且固定在所述操作箱的侧壁上;所述操作箱的侧壁上设置有一开口,使得所述第二真空腔室和所述操作箱内部相通;所述第二真空腔室的内部设置有载物台,所述载物台上放置工件;所述第二真空腔室的外壁覆盖有密闭的加热腔室,所述加热腔室和所述第一真空腔室之间具有间隙,在所述加热腔室内部设置有加热组件,所述加热组件沿所述第二真空腔室的外壁依次排列,用于对所述第二真空腔室进行加热;腔盖,设置在所述操作箱的开口处,用于盖设所述第二真空腔室。
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