[发明专利]用于使配方集的执行同步的系统和方法有效
| 申请号： | 201610381658.0 | 申请日： | 2016-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN106249701B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 约翰·C·小瓦尔考;托尼·萨恩;波斯简·普斯特 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于使配方集的执行同步的系统和方法。描述了使配方集的执行同步的系统和方法。所述方法中的一种包括：由命令控制器发送配方集到主控制器；并且由所述主控制器发送所述配方集以用于通过等离子体系统的子系统控制器执行。从所述主控制器发送所述配方集到所述子系统控制器的操作在时钟信号的第一时钟周期期间执行。所述方法包括：由所述命令控制器产生配方事件信号；以及由所述命令控制器发送配方事件信号到所述子系统控制器，所述配方事件信号指示由所述子系统控制器执行所述配方集的时间。所述执行的时间在所述第一时钟周期之后的第二时钟周期期间出现。所述第二时钟周期属于时钟信号。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 配方 执行 同步 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种方法，其包括：由命令控制器发送配方集到主控制器；由所述主控制器发送所述配方集以用于通过等离子体系统的子系统控制器执行，其中从所述主控制器发送所述配方集到所述子系统控制器在时钟信号的第一时钟周期期间执行；由所述命令控制器产生配方事件信号；以及由所述命令控制器发送所述配方事件信号到所述子系统控制器，所述配方事件信号指示由所述子系统控制器执行所述配方集的时间，其中，所述执行的时间在所述第一时钟周期之后的第二时钟周期期间出现，其中所述第二周期属于时钟信号。
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