[发明专利]一种传输腔室的压力控制方法及控制系统

摘要

本发明公开了一种传输腔室的压力控制方法及控制系统，方法包括以下步骤：获取传输腔室内的当前压力值；对比传输腔室内的当前压力值与目标压力值；通过传输腔室压力值与进气阀的进气量和抽气阀的抽气量之间的对应关系，同时控制进气阀的进气量和抽气阀的抽气量，使得传输腔室内的当前压力值达到目标压力值。本发明的传输腔室的压力控制方法及控制系统，可以确保传输腔室在工艺过程及晶圆传送过程中压力几乎保持恒定，避免因压力波动带来参与气体及反应副产物倒流至传输腔室，从而更好的保护传输腔室避免腐蚀及其它侵害，且本发明的方法及系统可以使得传输腔室在最短的时间内使得传输腔室内的当前压力值达到目标压力值，并使用最少的气体消耗。

主权项

1.一种传输腔室的压力控制方法，所述传输腔室与反应腔室连接且之间设置有第一门阀，所述传输腔室与装载腔室连接且之间设置有第二门阀，所述第一门阀和所述第二门阀用作晶片传输通道；所述传输腔室还设置有进气阀和抽气阀，其特征在于，所述压力控制方法包括以下步骤：获取所述传输腔室内的当前压力值；对比所述传输腔室内的当前压力值与目标压力值；通过所述传输腔室压力值与所述进气阀的进气量和所述抽气阀的抽气量之间的对应关系，同时控制所述进气阀的进气量和所述抽气阀的抽气量，使得所述传输腔室内的当前压力值达到所述目标压力值；其中，控制所述进气阀的进气量、所述抽气阀的抽气量具体为通过脉冲宽度调制方式控制所述进气阀的进气量、所述抽气阀的抽气量；并且，所述获取所述传输腔室内的当前压力值之前，还包括步骤，获取所述传输腔室压力值与所述进气阀的进气量和所述抽气阀的抽气量之间的对应关系；所述获取所述传输腔室压力值与所述进气阀的进气量和所述抽气阀的抽气量之间的对应关系包括：当所述第一门阀及所述第二门阀均关闭时，通过脉冲宽度调制方式实时控制所述进气阀的进气量和所述抽气阀的抽气量，并获取相应所述传输腔室内的压力值，获得所述传输腔室当前压力值与所述进气阀的进气量和所述抽气阀的抽气量之间的对应关系；和/或，当所述第一门阀关闭，同时所述第二门阀打开时，通过脉冲宽度调制方式实时控制所述进气阀的进气量和所述抽气阀的抽气量，并获取相应所述传输腔室内的压力值，获得所述传输腔室当前压力值与所述进气阀的进气量和所述抽气阀的抽气量之间的对应关系；和/或，当所述第一门阀打开，同时所述第二门阀关闭时，通过脉冲宽度调制方式实时控制所述进气阀的进气量和所述抽气阀的抽气量，并获取相应所述传输腔室内的压力值，获得所述传输腔室当前压力值与所述进气阀的进气量和所述抽气阀的抽气量之间的对应关系。