[发明专利]单芯片级金刚石色心自旋陀螺仪及制备方法有效
| 申请号： | 201610385284.X | 申请日： | 2016-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN106092074B | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 刘俊;郭浩;唐军;马宗敏;曹慧亮;陈宇雷;郭旭东;朱强 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01C19/58 | 分类号： | G01C19/58;G01C25/00 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;武建云 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单芯片级金刚石色心自旋陀螺仪，利用MPCVD磁、电约束方法制备了浓度大于1018cm‑1的氮元素掺杂金刚石结构，利用微纳加工工艺方法制备了金刚石色心波导结构，实现了NV色心结构的波导内全激发和空间全反射高效率收集，同时结合电子束加工方法实现了微波、射频天线的共面制造以及磁场产生线圈的芯片化一体集成，并通过时序操控方法进行陀螺信号高信噪比检测，发明了一种单芯片级的金刚石色心自旋陀螺仪。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片级 金刚石 色心 自旋 陀螺仪 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种单芯片级金刚石色心自旋陀螺仪，其特征在于：包括金刚石衬底（1），所述金刚石衬底（1）上表面中部加工金刚石NV色心波导（2），所述金刚石衬底（1）上表面采用MPCVD法外延生长一层金刚石折射率匹配层；所述金刚石衬底（1）上表面位于金刚石NV色心波导（2）两侧分别加工微带天线阵列（4）；所述金刚石衬底背面（3）中心部加工磁场产生线圈（9）；金刚石NV色心波导（2）两端分别通过端面耦合方式连接激光输入端口（5）和荧光信号输出光电检测端口（6）；所述微带天线阵列（4）通过端面耦合方式连接微波、射频信号输入端口（7）。
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