[发明专利]单钩型位移转换机构压电粘滑直线电机及其激励方法

摘要

一种单钩型位移转换机构压电粘滑直线电机及其激励方法，以解决当前压电粘滑直线电机由于摩擦力综合调控困难所导致的输出机械性能受限等问题。本发明由加载机构、单钩型定子和动子组成；所述定子的单钩型菱形位移放大转换机构具有微位移放大功能，由于其轴向刚度分布不均产生侧向位移的同时又增大了摩擦驱动力，减小了摩擦阻力；同时将摩擦调控波耦合叠加于单钩型定子快速变形阶段的锯齿驱动波中，从而降低快速变形阶段定、动子间摩擦阻力，实现对摩擦力的综合调控，显著提升压电粘滑直线电机的机械输出特性。本发明因具有结构简单紧凑、装配方便、定位精度高以及行程不受限等优点可广泛应用于半导体加工等微纳精密驱动与定位技术领域。

主权项

一种单钩型位移转换机构压电粘滑直线电机，该单钩型位移转换机构压电粘滑直线电机由加载机构（1）、单钩型定子（2）和动子（3）组成；所述单钩型定子（2）固定安装在加载机构（1）上，动子（3）固定安装在加载机构（1）上；其特征在于：加载机构（1）由下滑台（1‑1）、上滑台（1‑2）和手动调节螺钉（1‑3）组成；所述下滑台（1‑1）设置有固定螺钉（1‑1‑1）、锁紧保持架（1‑1‑2）和锁紧螺栓（1‑1‑3）；下滑台（1‑1）设置有手动调节螺钉安装孔（1‑1‑4），通过与手动调节螺钉（1‑3）采用螺纹连接的方式紧固单钩型定子（2）；下滑台（1‑1）设置有下弹簧固定销（1‑1‑5）和预压弹簧（1‑1‑6），通过下弹簧固定销（1‑1‑5）与预压弹簧（1‑1‑6）一端固定；下滑台（1‑1）设置有内侧固定导轨（1‑1‑7），内侧固定导轨（1‑1‑7）设置有下导轨限位螺钉（1‑1‑11）和滚珠保持架组件（1‑1‑12）；下滑台设置有动子安装基面（1‑1‑8）和动子安装螺纹孔（1‑1‑9），通过动子安装螺纹孔（1‑1‑9）将动子（3）固定在动子安装基面（1‑1‑8）上，下滑台（1‑1）设置有沉头孔（1‑1‑10）；所述上滑台（1‑2）设置有横向铰链安装孔（1‑2‑1）和纵向铰链安装孔（1‑2‑3），上滑台（1‑2）设置有外安装孔（1‑2‑5）和呈垂直对称分布的内安装孔（1‑2‑2）；上滑台（1‑2）的端部安装有上导轨限位螺钉（1‑2‑4），上滑台（1‑2）设置有上弹簧固定销（1‑2‑6），通过上弹簧固定销（1‑2‑6）与预压弹簧（1‑1‑6）另一端固定；上滑台（1‑2）侧面设置有锁紧螺纹孔（1‑2‑7）和外侧移动导轨（1‑2‑8）；所述手动调节螺钉（1‑3）通过与手动调节螺钉安装孔（1‑1‑4）采用螺纹连接紧固单钩型定子（2）。