[发明专利]斜梯型振幅放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法

摘要

一种斜梯型振幅放大机构压电粘滑直线电机及其激励方法，以解决当前压电粘滑直线电机由于摩擦力综合调控困难所导致的输出机械性能受限等问题。本发明由基座、预加载组件、斜梯型定子和动子组成；所述定子的斜梯型振幅放大转换机构可实现微位移放大，利用其轴向刚度分布不均产生侧向位移的同时，既可增大摩擦驱动力，又可减小摩擦阻力。同时将摩擦调控波耦合叠加于斜梯型定子快速变形驱动阶段的锯齿驱动波中，从而降低快速变形驱动阶段定、动子间摩擦阻力，实现对摩擦力的综合调控，提升压电粘滑直线电机的机械输出特性。本发明因具有结构紧凑、装配方便、定位精度高以及行程大等特点可以广泛应用于半导体加工等微纳精密驱动与定位技术领域。

主权项

一种斜梯型振幅放大机构压电粘滑直线电机，该斜梯型振幅放大机构压电粘滑直线电机由基座（1）、预加载组件（2）、斜梯型定子（3）和动子（4）组成；其中预加载组件（2）固定安装在基座（1）上，斜梯型定子（3）固定安装在预加载组件（2）上，动子（4）固定安装在基座（1）上；其特征在于：基座（1）包括基座安装孔（1‑1）、预加载组件安装孔（1‑2）、动子安装基面（1‑3）和动子安装螺纹孔（1‑4）；所述基座安装孔（1‑1）与外围平台连接，预加载组件（2）通过预加载组件安装孔（1‑2）与基座（1）固定，通过动子安装螺纹孔（1‑4）将动子（4）固定在动子安装基面（1‑3）上；预加载组件（2）包括有下固定板（2‑1）、上移动板（2‑2）、手动调节螺杆（2‑3）和锁紧螺杆（2‑4）；所述下固定板（2‑1）设置有手动调节螺杆安装孔（2‑1‑1），通过与手动调节螺杆（2‑3）采用螺纹连接预紧上移动板（2‑2），下固定板（2‑1）设置有弹簧固定螺钉（2‑1‑2）和预压弹簧（2‑1‑4）；下固定板（2‑1）设置有导轨固定架（2‑1‑3），导轨固定架（2‑1‑3）安装有导轨限位螺钉（2‑1‑5）；下固定板（2‑1）设置的沉头孔（2‑1‑6）；下固定板（2‑1）设置有锁紧保持架（2‑1‑7）和固定螺钉（2‑1‑8），通过锁紧保持架（2‑1‑7）和锁紧螺杆（2‑4）的螺纹连接将上移动板（2‑2）固定；所述上移动板（2‑2）设置有定子安装孔（2‑2‑1），上移动板（2‑2）设置的锁紧螺纹孔（2‑2‑2）与锁紧螺杆（2‑4）采用螺纹连接。