[发明专利]菱形铰链拨片式正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法

摘要

一种菱形铰链拨片式正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法，以解决当前压电粘滑直线马达由于摩擦力综合调控困难所导致的输出机械性能受限等问题。本发明由预紧力调节机构、拨片式定子和动子三部分组成；所述拨片式定子利用拨片式菱形运动转换器来产生侧向位移，增大摩擦驱动力，减小摩擦阻力；同时将摩擦调控波耦合叠加于拨片式定子快速变形阶段的锯齿驱动波中，从而降低快速变形阶段定、动子间摩擦阻力，实现对摩擦力的综合调控，显著提升压电粘滑直线马达的机械输出特性。本发明具有结构简单、精度高和行程大等特点，可广泛应用于半导体加工与光学精密仪器等先进技术领域。

主权项

一种菱形铰链拨片式正交驱动型压电粘滑直线马达，该菱形铰链拨片式正交驱动型压电粘滑直线马达包括预紧力调节机构（1）、拨片式定子（2）和动子（3）；所述拨片式定子（2）固定安装在预紧力调节机构（1）上，动子（3）固定安装在预紧力调节机构（1）上；其特征在于预紧力调节机构（1）由下支撑台（1‑1）、预压滑台（1‑2）和预紧螺栓（1‑3）组成；所述下支撑台（1‑1）设置有动子安装孔（1‑1‑1）和动子安装基准面（1‑1‑8），通过动子安装孔（1‑1‑1）将动子（2）固定在动子安装基准面（1‑1‑8）上，下支撑台（1‑1）设置有锥形孔（1‑1‑2），通过锥形孔（1‑1‑2）将下支撑台（1‑1）与外围装置固定，下支撑台（1‑1）设置有内侧固定导轨（1‑1‑9），内侧固定导轨（1‑1‑9）安装有下导轨限位螺钉（1‑1‑3），下支撑台（1‑1）设置有滚珠保持架（1‑1‑4），下支撑台（1‑1）设置有固定螺钉（1‑1‑5）、锁紧保持架（1‑1‑6）和锁紧螺栓（1‑1‑7），通过调节锁紧螺栓（1‑1‑7）将锁紧保持架（1‑1‑6）和预压滑台（1‑2）固定，下支撑台（1‑1）设置有预压弹簧（1‑1‑10）和下弹簧固定销（1‑1‑11），下支撑台（1‑1）设置有预紧螺栓安装孔（1‑1‑12），通过预紧螺栓（1‑3）和预紧螺栓安装孔（1‑1‑12）采用螺纹连接进行预压滑台（1‑2）的固定；所述预压滑台（1‑2）设置有铰链安装孔（1‑2‑1），通过铰链安装孔（1‑2‑1）将拨片式定子（2）固定，预压滑台（1‑2）设置有上导轨限位螺钉（1‑2‑2）和上弹簧固定销（1‑2‑3），预压滑台（1‑2）端部设置有锁紧螺纹孔（1‑2‑4），通过与锁紧螺栓（1‑1‑7）采用螺纹连接固定预压滑台（1‑2），预压滑台（1‑2）设置有外侧固定导轨（1‑2‑5），通过滚珠保持架（1‑1‑4）与内侧固定导轨（1‑1‑9）间接接触。