[发明专利]菱形铰链斜拉式正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法

摘要

一种菱形铰链斜拉式正交驱动型压电粘滑直线马达及其复合激励方法，以解决当前压电粘滑直线马达由于摩擦力调控困难所导致的机械输出性能受限等问题。本发明由预紧力调节装置、斜拉式定子和动子组成；所述斜拉式定子利用斜拉式菱形运动转换器来产生侧向位移，增大摩擦驱动力，减小摩擦阻力；同时将摩擦调控波复合叠加于斜拉式定子快速变形阶段的锯齿驱动波中，从而降低快速变形阶段定、动子间摩擦阻力，实现对摩擦力的综合调控，提升压电粘滑直线马达机械输出特性。本发明具有结构简单、精度高、行程大等特点，在半导体加工、光学调焦等具有结构微型化、要求精确定位的领域中具有很好的应用前景。

主权项

一种菱形铰链斜拉式正交驱动型压电粘滑直线马达，所述斜拉式菱形铰链正交驱动型压电粘滑直线马达由预紧力调节装置（1）、斜拉式定子（2）和动子（3）组成；斜拉式定子（2）安装在预紧力调节装置（1）上，动子（3）安装在预紧力调节装置（1）上；其特征在于所述预紧力调节装置（1）由安装支座（1‑1）、移动滑台（1‑2）和预紧力调节螺杆（1‑3）组成；其中安装支座（1‑1）设置安装定位孔（1‑1‑1）、定位支承平面（1‑1‑8），动子（3）安装固定在定位支承平面（1‑1‑8）上，安装支座（1‑1）底部设置有安装螺纹孔（1‑1‑2），安装支座（1‑1）通过安装螺纹孔（1‑1‑2）与外围设备连接，安装支座（1‑1）设置有滑道限位螺钉（1‑1‑3）、滑动架（1‑1‑4）和滑道（1‑1‑9），滑道限位螺钉（1‑1‑3）安装在滑道（1‑1‑9）上，滑动架（1‑1‑4）在滑道限位螺钉（1‑1‑3）间滑动，安装支座（1‑1）设置有保持架紧固螺钉（1‑1‑5）、止动栓保持架（1‑1‑6）和止动栓（1‑1‑7），通过旋紧止动栓（1‑1‑7）实现移动滑台（1‑2）的止动固定，安装支座（1‑1）设置有弹簧（1‑1‑10），安装支座（1‑1）通过弹簧（1‑1‑10）与滑台（1‑2）连接，安装支座（1‑1）设置有下弹簧固定销（1‑1‑11），弹簧（1‑1‑10）一端通过下弹簧固定销（1‑1‑11）与安装支座（1‑1）连接，安装支座（1‑1）设置有加载螺纹孔（1‑1‑12），其与预紧力调节螺杆（1‑3）进行螺纹连接；移动滑台（1‑2）设置有定位螺纹孔（1‑2‑1），斜拉式定子（2）通过定位螺纹孔（1‑2‑1）固定在移动滑台（1‑2）上，移动滑台（1‑2）设置有移动滑台限位螺钉（1‑2‑2）、导向滑杆（1‑2‑5），移动滑台限位螺钉（1‑2‑2）安装在导向滑杆（1‑2‑5）端部，滑动架（1‑1‑4）在移动滑台限位螺钉（1‑2‑2）间滑动，移动滑台（1‑2）设置有上弹簧固定销（1‑2‑3），弹簧（1‑1‑10）的另一端通过上弹簧固定销（1‑2‑3）与移动滑台（1‑2）连接，移动滑台（1‑2）侧面设置有止动栓安装孔（1‑2‑4），止动栓安装孔（1‑2‑4）与止动栓（1‑1‑7）螺纹连接；预紧力调节螺杆（1‑3）与加载螺纹孔（1‑1‑12）螺纹连接，通过调整预紧力调节螺杆（1‑3）的旋进长度可以调节移动滑台（1‑2）的位置，实现预紧力调节装置（1）对预紧力的调节。