[发明专利]一种硅片高效扩散炉

摘要

本发明公开了一种硅片高效扩散炉，包括炉体和炉门，炉体内设有石英舟，在炉体的上端开设有进气口，进气口连接进气管，在炉体的底部开设有出气口，且出气口连接尾气排放管，在炉体的炉口处设有炉门，炉门的中心设有转轴，炉门的外壁上固定设有凸起，在炉门上开设有两个与转轴对称的窗口，在炉体的炉口处还设有与窗口相匹配的石英挡块，在炉体的外侧固定有U形支架，在U形支架上分别设有第一伸缩气缸、第二伸缩气缸、第三伸缩气缸，且第一伸缩气缸和第二伸缩气缸分别紧贴凸起，第三伸缩气缸连接石英推拉杆，本发明结构原理简单、操作方便，能够实现自动开关炉门，自动进出石英舟，自动化程度高，提高了工作效率。

主权项

1.一种硅片高效扩散炉, 包括炉体（1）和炉门（2），其特征在于：所述炉体（1）内设有石英舟（3），在所述炉体（1）的上端开设有进气口（4），所述进气口（4）连接进气管（5），在所述炉体（1）的底部开设有出气口（6），且所述出气口（6）连接尾气排放管（7），在所述炉体（1）的炉口处设有炉门（2），所述炉门（2）的中心设有转轴（8），所述炉门（2）的外壁上固定设有凸起（9），在所述炉门（2）上开设有两个与转轴（8）对称的窗口（10），在所述炉体（1）的炉口处还设有与窗口（10）相匹配的石英挡块（11），在所述炉体（1）的外侧固定有U形支架（12），在所述U形支架（12）上分别设有第一伸缩气缸（13）、第二伸缩气缸（14）、第三伸缩气缸（15），且所述第一伸缩气缸（13）和所述第二伸缩气缸（14）分别紧贴凸起（9），所述第三伸缩气缸（15）连接石英推拉杆（16），所述石英推拉杆（16）与石英舟（3）在同一直线上;所述第一伸缩气缸（13）、第二伸缩气缸（14）、第三伸缩气缸（15）结构完全一致，包括缸筒（17），所述缸筒（17）内设有内缸（18），所述内缸（18）内设有柱塞杆（19），所述缸筒（17）和内缸（18）侧壁均设有进油孔（20），所述缸筒（17）和内缸（18）的侧壁及底部均设有油槽（21），所述柱塞杆（19）与内缸（18）之间及缸筒（17）与内缸（18）之间均设有密封圈（22）;所述第一伸缩气缸（13）紧贴炉门（2）上端的凸起（9），所述第二伸缩气缸（14）紧贴炉门（2）下端的凸起（9），且第一伸缩气缸（13）和第二伸缩气缸（14）推动方向相反;所述第一伸缩气缸（13）、第二伸缩气缸（14）、第三伸缩气缸（15）分别连接外部的PLC控制器;其使用方法包括以下步骤：A、启动PLC控制器，PLC控制器分别控制第一伸缩气缸（13）和第二伸缩气缸（14）动作，且第一伸缩气缸（13）和第二伸缩气缸（14）分别朝相反方向推动炉门（2），使炉门（2）旋转；B、当炉门（2）上的窗口（10）旋转至与石英舟（3）在同一直线上时，第一伸缩气缸（13）和第二伸缩气缸（14）停止动作；C、此时，PLC控制器控制第三伸缩气缸（15）动作，第三伸缩气缸（15）推动石英推拉杆（16）从炉门（2）上的窗口（10）处伸入炉体（1）内部并且勾住石英舟（3）；D、PLC控制器控制第三伸缩气缸（15）往相反方向运动，石英推拉杆（16）将石英舟（3）从炉门（2）上的窗口（10）处拉出炉体。