[发明专利]一种绝压传感器双弹性敏感元件有效

专利信息
申请号: 201610388761.8 申请日: 2016-06-02
公开(公告)号: CN106092427B 公开(公告)日: 2018-08-03
发明(设计)人: 崔宏敏;丁钟凯;陈宝成;崔光浩;刘宝伟;孙志成;张玉泉;侯占民;宗义仲 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十九研究所
主分类号: G01L9/04 分类号: G01L9/04
代理公司: 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 代理人: 孟宪会
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 一种绝压传感器双弹性敏感元件,它涉及一种敏感元件。本发明为了解决现有的高频强振动环境下测量小压力、输出稳定可靠、灵敏度高、使用寿命长的目的的问题。本发明的下膜片(1)和上膜片(2)均为圆盘形膜片,下膜片(1)的上端面上以圆心为中心由内至外分别开设第一环形槽(3)和第二环形槽(4),上膜片(2)的下端面上开设以圆心为中心向上膜片(2)上端面内凹的第三环形槽(5),上膜片(2)的外侧面沿上膜片(2)的镜像方向开设一个通孔(6),通孔(6)与上膜片(2)连通,第三环形槽(5)分别与第一环形槽(3)和第二环形槽(4)连通,上膜片(2)固定插装在下膜片(1)上。本发明用于压力测试。
搜索关键词: 一种 传感器 弹性 敏感 元件
【主权项】:
1.一种绝压传感器双弹性敏感元件,其特征在于:它包括下膜片(1)和上膜片(2),下膜片(1)和上膜片(2)均为圆盘形膜片,下膜片(1)的上端面上以圆心为中心由内至外分别开设第一环形槽(3)和第二环形槽(4),上膜片(2)的下端面上开设以圆心为中心向上膜片(2)上端面内凹的第三环形槽(5),上膜片(2)的外侧面沿上膜片(2)的镜像方向开设一个通孔(6),通孔(6)与上膜片(2)连通,第三环形槽(5)分别与第一环形槽(3)和第二环形槽(4)连通,上膜片(2)固定插装在下膜片(1)上。
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