[发明专利]一种极紫外光源的主脉冲电源专用脉冲变压器在审
| 申请号： | 201610388809.5 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN105845320A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 王骐;吕鹏;徐强;赵永蓬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H01F19/08 | 分类号： | H01F19/08;H01F27/24;H01F27/30 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 杨晓辉 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种极紫外光源的主脉冲电源专用脉冲变压器，属于极紫外光刻光源技术领域。它现有的脉冲变压器因使用材质为晶态合金的磁芯，而导致的磁感应强度增量较低、有效磁导率较低或无法用于大功率场合的问题。该脉冲变压器的磁芯为两块尺寸相同的铁基非晶磁环，所述两块铁基非晶磁环同轴重叠且相互固定；铁基非晶磁环的外径为300毫米，内径为100毫米，厚度为28毫米；初级线圈的匝数为10，次级线圈的匝数为40；初级绕线的直径为17毫米，其外表面为聚四氟乙烯套管，内部为并绕的多根漆包线；次级绕线的直径为8毫米，其外表面为聚四氟乙烯薄膜，内部为并绕的多根漆包线。本发明适用于极紫外光源用的主脉冲电源的压缩回路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 光源 脉冲 电源 专用 变压器 | ||
【主权项】：
一种极紫外光源的主脉冲电源专用脉冲变压器，其特征在于，该脉冲变压器的磁芯为两块尺寸相同的铁基非晶磁环，所述两块铁基非晶磁环同轴重叠且相互固定；铁基非晶磁环的外径为300毫米，内径为100毫米，厚度为28毫米；初级线圈的匝数为10，次级线圈的匝数为40；初级绕线的直径为17毫米，其外表面为聚四氟乙烯套管，内部为并绕的多根漆包线；次级绕线的直径为8毫米，其外表面为聚四氟乙烯薄膜，内部为并绕的多根漆包线。
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