[发明专利]基板缺陷位置定位方法及装置和系统

摘要

本发明涉及一种基板缺陷位置定位方法、装置和系统。一种基板缺陷位置定位方法，用于定位基板上的缺陷位置，缺陷具有灰阶信息，包括步骤：根据缺陷的灰阶信息，判断缺陷类型；根据缺陷类型，调节光源强度并获取视野图片；将视野图片转换为二阶化图片；根据二阶化图片确定缺陷位置。一种基板缺陷位置定位装置，用于上述基板缺陷位置定位方法，包括信息处理单元、光源控制单元、目视单元以及图像处理单元。一种基板缺陷位置定位系统，包括自动光学检测设备以及上述基板缺陷位置定位装置，自动光学检测设备连接基板缺陷位置定位装置的信息处理单元。上述方法、装置和系统能够提高了缺陷定位的效率，降低了缺陷误报率。

主权项

1.一种基板缺陷位置定位方法，用于定位基板上的缺陷位置，所述缺陷具有灰阶信息，其特征在于，包括步骤：根据所述缺陷的灰阶信息，判断所述缺陷类型；根据所述缺陷类型，调节光源强度并获取视野图片；将所述视野图片转换为二阶化图片；设定图片对比周期，将所述缺陷和周期性图案进行对比，确定是否存在缺陷；根据所述二阶化图片确定所述缺陷位置；所述缺陷类型包括暗点缺陷和亮点缺陷；在所述根据所述缺陷类型，调节光源强度并获取视野图片的步骤中，还包括步骤，如果所述缺陷类型为暗点缺陷，将所述光源强度调高；如果所述缺陷类型为亮点缺陷，将所述光源强度调低。