[发明专利]一种高精度熔融石英微壳体谐振结构加工设备有效
| 申请号： | 201610389435.9 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN106082602B | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 肖定邦;吴学忠;侯占强;陈志华;吴宇列;李微;石岩;卢坤 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 陈立新 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种高精度熔融石英微壳体谐振结构加工设备，包包括XYZ三向给进机构、W向伺服旋转机构、成型模具以及高温火焰控制系统，所述高温火焰控制系统包括高温火焰喷枪，待加工石英片固定在成型模具上，成型模具与W向伺服旋转机构固定连接且W向伺服旋转机构能够带动成型模具同步高速旋转，XYZ三向进给机构和W向伺服旋转机构用于实现待加工石英片与高温火焰喷枪喷出的高温火焰的对准。本发明的熔融石英微壳体谐振结构加工设备能显著提升熔融石英微壳体谐振结构的加工精度，加工效率得到明显提升，同时该加工设备适用于多种尺寸范围和材料的谐振结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 熔融 石英 壳体 谐振 结构 加工 设备 | ||
【主权项】：
1.一种高精度熔融石英微壳体谐振结构加工设备，其特征在于：包括XYZ三向进给机构、W向伺服旋转机构、成型模具、真空控制系统以及高温火焰控制系统，所述高温火焰控制系统包括高温火焰喷枪，待加工石英片固定在成型模具上，成型模具内设置有成型空腔，成型空腔与真空控制系统连接，真空控制系统能够对成型模具内的成型空腔进行抽真空操作；成型模具与W向伺服旋转机构固定连接且W向伺服旋转机构能够带动成型模具同步高速旋转，XYZ三向进给机构和W向伺服旋转机构用于实现待加工石英片与高温火焰喷枪喷出的高温火焰的对准，其中所述XYZ三向进给机构用于实现高温火焰与待加工石英片的对准，W向伺服旋转机构用于提高火焰加热的中心对称精度，高温火焰控制系统用于实现石英片表面温度的精确控制，高温火焰控制系统采用氧气+燃气的产热方式，火焰出口温度在1200℃～2000℃内精确可调。
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