[发明专利]具有多个传感器元件的封装的传感器

摘要

本公开涉及包括多个传感器元件的传感器。在一些情况下，多个传感器元件可被安装在单个基板上并且均可被配置为感测具有不同分辨率、灵敏度、和/或范围的单个参数，和/或多个参数。在一个例子中，多个压力感测管芯可被安装在单个封装中，且根据期望，均可被配置为压力差传感器、绝对压力传感器、和/或表压传感器。

主权项

1.一种压力传感器，包括：包括第一侧和第二侧的基板；安装在基板的所述第一侧上的第一压力感测管芯，其中该第一压力感测管芯包括隔膜和放置在该隔膜上的一个或多个压阻元件，其中该第一压力感测管芯被放置在基板中的第一开口上，该第一开口在基板的第一侧和第二侧之间延伸；安装在基板的所述第二侧上的第二压力感测管芯，其中该第二压力感测管芯包括隔膜和放置在该隔膜上的一个或多个压阻元件，其中第二压力感测管芯被放置在基板中的第二开口上，该第二开口在基板的第一侧和第二侧之间延伸；第一外壳构件，被放置在该基板的第一侧上且限定在所述第一压力感测管芯和所述第二压力感测管芯周围的第一空腔，其中该第一外壳构件包括第一压力开口和第二压力开口，其中该第一外壳构件包括限定第一室和第二室的壁，其中所述第一室容纳该第一压力感测管芯并暴露给第一压力开口，其中所述第二室容纳该第二压力感测管芯并用于该第二压力感测管芯暴露给第二压力开口；以及第二外壳构件，被放置在基板的第二侧上且限定了第二空腔，其中该第二外壳构件包括第三压力开口用于将基板中的第一开口和基板中的第二开口暴露于第三压力。