[发明专利]一种抛光层及其制备方法以及化学机械抛光垫有效
| 申请号： | 201610391966.1 | 申请日： | 2016-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN106041719B | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 朱顺全;梅黎黎 | 申请（专利权）人： | 湖北鼎龙控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/22 | 分类号： | B24B37/22;B24B37/24;B24D18/00;C08G18/44 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 涂洁 |
| 地址： | 430057 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光层及其制备方法以及化学机械抛光垫，解决了现有抛光垫机械性能不稳定的问题。本发明抛光层以由聚氨酯预聚体、固化剂以及功能填料为原料混合固化而成，其中，聚氨酯预聚体是以聚碳酸酯多元醇和多官能氰酸酯为原料反应而成。本发明化学机械抛光垫含有所述抛光层，具有工艺简单、成本低廉、机械性能稳定的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 及其 制备 方法 以及 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
1.一种化学机械抛光垫中的抛光层的制备方法，其特征在于，以由聚氨酯预聚体、固化剂以及功能填料为原料混合固化而成，其中，聚氨酯预聚体是以聚碳酸酯多元醇和多官能氰酸酯为原料反应而成,所述聚碳酸酯多元醇为官能度为2的聚碳酸酯二醇；所述聚氨酯预聚体、固化剂以及功能填料三者的混合质量比为100：(10‑25)：(10‑30)。
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