[发明专利]一种等离子喷涂技术制备钛酸铜钙高介电涂层的方法在审

专利信息
申请号: 201610392017.5 申请日: 2016-06-06
公开(公告)号: CN107460428A 公开(公告)日: 2017-12-12
发明(设计)人: 宋仁国;项南;宋若希;刘萍;王超 申请(专利权)人: 宁波瑞隆表面技术有限公司
主分类号: C23C4/134 分类号: C23C4/134;C23C4/11
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 315177 浙江省宁波*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种等离子喷涂技术制备钛酸铜钙高介电涂层的方法。所述制备钛酸铜钙高介电涂层的方法,包括如下步骤步骤(1)选择钛酸铜钙粉末;步骤(2)对待喷涂的基材铝箔表面进行预处理;步骤(3)将经过预处理的铝箔基材固定在钢板上,选择氩气和氢气为离子气体,氮气为送粉载气,通过真空等离子喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂,制备钛酸铜钙高介电涂层。依发明所制备涂层结构紧密,孔隙率低,介电常数高,耐久性良好,可用于薄膜基体表面涂层的制备。
搜索关键词: 一种 等离子 喷涂 技术 制备 钛酸铜钙高介电 涂层 方法
【主权项】:
一种等离子喷涂技术制备钛酸铜钙高介电涂层的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤(1):选择钛酸铜钙粉末;步骤(2):对待喷涂铝箔基材进行表面预处理;步骤(3):将经过预处理的铝箔基材固定在钢板上,选择氩气和氢气为离子气体,氮气为送粉载气,通过真空等离子喷涂设备在所述铝箔基材表面进行等离子喷涂,制备钛酸铜钙高介电涂层。
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